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회로기판 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130863
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 요(凹)부와 철(凸)부를 포함하는 제1베이스 기판을 제공하는 단계; 상기 제1베이스 기판의 상기 요(凹)부에 제1절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1베이스 기판의 상기 철(凸)부에 금속층을 형성하는 단계; 상기 금속층의 상부에 제2베이스 기판을 부착하는 단계; 상기 제1베이스 기판으로부터 상기 제2베이스 기판 및 상기 금속층을 동시에 분리하여, 상기 금속층을 포함하는 회로기판을 제조하는 단계; 및 상기 금속층을 포함하는 회로기판을 복수개 적층하여, 제1회로기판 및 상기 제2회로기판의 상부에 위치하는 제2회로기판을 제조하는 단계를 포함하는 회로기판의 제조방법에 관한 것으로, 회로기판의 회로 배선을 구성하는 금속배선을 식각공정을 배제함으로써, 금속배선을 식각하는 공정의 기술적 한계를 해결하여, 회로의 미세화 내지는 고집적화가 가능하다.
Int. CL H05K 3/46 (2006.01)
CPC H05K 3/4617(2013.01) H05K 3/4617(2013.01) H05K 3/4617(2013.01)
출원번호/일자 1020140022980 (2014.02.27)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1580866-0000 (2015.12.22)
공개번호/일자 10-2015-0101550 (2015.09.04) 문서열기
공고번호/일자 (20151230) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김만 대한민국 경상남도 창원시 의창구
2 정용수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 이주열 대한민국 경상남도 김해시 장유로**
4 이상열 대한민국 경상남도 김해시
5 장도연 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0192263-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0097717-08
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0142008-18
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0407336-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.05.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0507648-88
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0507640-13
8 등록결정서
Decision to grant
2015.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0651631-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
요(凹)부와 철(凸)부를 포함하는 제1베이스 기판을 제공하는 단계; 상기 제1베이스 기판의 상기 요(凹)부에 제1절연층 패턴을 형성하는 단계;상기 제1베이스 기판의 상기 철(凸)부에 금속층을 형성하는 단계; 상기 금속층의 상부에 제2베이스 기판을 부착하는 단계;상기 제1베이스 기판으로부터 상기 제2베이스 기판 및 상기 금속층을 동시에 분리하여, 상기 금속층을 포함하는 회로기판을 제조하는 단계; 및상기 금속층을 포함하는 회로기판을 2개 적층하여, 제1금속층을 포함하는 제1회로기판 및 상기 제1회로기판의 상부에 위치하고, 제2금속층을 포함하는 제2회로기판을 제조하는 단계를 포함하고,상기 요(凹)부와 철(凸)부를 포함하는 제1베이스 기판을 제공하는 단계는,제3베이스 기판의 상부에 제2절연층 패턴을 형성하여 제2마스터 기판을 제조하는 단계;상기 제2마스터 기판 상에 상기 제1베이스 기판을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 회로기판의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제1금속층, 상기 제1금속층을 포함하는 제1회로기판, 상기 제2금속층 및 상기 제2금속층을 포함하는 제2회로기판에 쓰루홀을 형성하고, 상기 쓰루홀에 연결배선을 형성하는 단계를 더 포함하는 회로기판의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 요(凹)부에 상기 제1절연층 패턴이 형성된 상기 제1베이스 기판은 제1마스터 기판을 구성하고,상기 제1마스터 기판은 재사용되는 것을 특징으로 하는 회로기판의 제조방법
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제2절연층 패턴을 형성하는 것은,상기 제3베이스 기판의 상부에 제2절연층을 형성하고, 상기 제2절연층을 공지된 식각방법에 의해 식각하거나, 상기 제2절연층 패턴과 대응되는 영역의 개구부를 포함하는 마스크를 제조하고, 상기 마스크를 통해, 화학 기상 증착법(CVD:Chemical Vapor Deposition) 또는 물리 기상 증착법(PVD:Physical Vapor Deposition)에 의해 제2절연층을 증착하는 것인 회로기판의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 제2절연층 패턴과 대응되는 영역에 상기 요(凹)부가 형성되고, 상기 제2절연층 패턴과 대응되지 않는 영역에 상기 철(凸)부가 형성되는 회로기판의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 금속층은 상기 제2절연층 패턴의 형상에 따라 결정되는 회로기판의 제조방법
9 9
제 1 항, 제3항, 제4항, 제6항 내지 제 8 항의 회로기판의 제조방법 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 회로기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기계연구원 부설 재료연구소 산업원천기술개발사업 정밀도금 기반 전자부품용 그린복합 성형기술 개발(4/5)