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닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법

  • 기술번호 : KST2015130875
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 닙코우 디스크를 등간격으로 분할한 후, 분할된 기준영역에 2차원적으로 핀홀을 배치하고, 분할될 나머지 기준영역에도 이와 동일하게 배치함으로써, 디스크 위치에 상관없이 핀홀의 배치 밀도가 균일하면서, CCD에서의 암영역을 제거할 수 있는 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법에 관한 것이다.
Int. CL G02B 21/06 (2006.01)
CPC G02B 21/0064(2013.01) G02B 21/0064(2013.01) G02B 21/0064(2013.01)
출원번호/일자 1020140095493 (2014.07.28)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1471638-0000 (2014.12.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.28)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
5 이형석 대한민국 대전광역시 유성구
6 김창규 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0708181-37
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0771507-95
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0780853-88
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0706306-58
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-1089769-09
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1089764-71
7 등록결정서
Decision to grant
2014.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0817087-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법에 있어서,닙코우 디스크(100)의 중심(C)을 기준으로 원주방향으로 일정 각도 분할하여 다수개의 부채꼴 형태인 기준영역(200)이 설정되는 제1단계;상기 기준영역(200) 내에서 반경방향에 대해 a 간격으로 분할되어 내원 및 외원의 거리가 동일하게 형성된 다수개의 단위영역(300)이 설정되는 제2단계;상기 단위영역(300)을 이루는 내원의 일측 꼭지점에서 외원의 타측 꼭지점을 연결하는 핀홀 배치용 원호(400)를 형성하는 제3단계;상기 핀홀 배치용 원호(400)의 중심점과 상기 핀홀 배치용 원호(400)를 연결하여 형성된 핀홀 배치용 부채꼴(500)을 형성하는 제4단계;상기 핀홀 배치용 부채꼴(500)에서 원호의 길이가 a가 되는 각도 θ를 설정하는 제5단계; 및상기 핀홀 배치용 부채꼴(500)을 θ 각도로 등분하여, 등분된 원호에 핀홀(H)을 배치하는 제6단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법은상기 제 1단계에서상기 기준영역(200) 내에서 반경방향에 대해 분할하여 다수 개의 단위영역(300)을 설정하는 a 간격이 핀홀(H) 직경의 5~10배가 되도록 설정한 후,상기 제 2단계에서 상기 기준영역(200) 내에서 반경방향에 대해 상기 a 간격으로 분할되어 내원 및 외원의 거리가 동일하게 형성된 다수개의 단위영역(300)을 설정하는 것을 특징으로 하는 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법은상기 닙코우 디스크(100)의 중심(C)에서부터 첫 번째 상기 단위영역(300)이 시작되는 지점의 좌표가 (r0, 0)이고, 상기 기준영역(200)을 형성하는 부채꼴의 각도가 θs일 때,상기 제3단계에서 형성된 첫 번째 상기 단위영역(300) 내 핀홀 배치용 원호(400)의 내원 꼭지점 좌표가 (r0, 0)이고, 외원 꼭지점 좌표가 ((r0+a)cosθs, (r0+a)sinθs))인 것을 특징으로 하는 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법은상기 제6단계에서 하나의 상기 단위영역(300) 내 배치된 핀홀(H) 배치와 동일하게, 나머지 단위영역(300) 내에도 핀홀(H)을 배치하는 제7단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법은상기 제7단계를 통해 하나의 상기 기준영역(200) 내 배치된 핀홀(H) 배치와 동일하게, 나머지 기준영역(200) 내에도 핀홀(H)을 배치하는 제8단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법
6 6
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1 산업통상자원부 (주)나노시스템 산업부-국가연구개발사업(III) 공초점 Nipkow Disc 기술을 이용한 고속 bumped wafer 검사기 개발 (1/2)