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이온빔 소스의 음극

  • 기술번호 : KST2015130886
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이온빔 소스의 음극은 이온빔 소스의 몸체 상면에 구비되며, 서로 일정 간격 이격되도록 배치되어 이온빔을 인출하기 위한 개구를 형성하는 제1 음극 및 제2 음극을 포함한다. 상기 제1 음극 및 제2 음극 중 적어도 하나는 상기 몸체에 의해 지지되며 내부에 냉매를 순환시키기 위한 유로를 갖는 음극 몸체부 및 상기 음극 몸체부 상에 구비되며, 상기 이온빔의 반복적인 인출로 인해 상기 간격이 변화되는 경우 상기 간격이 일정하게 유지되도록 주기적인 교체가 가능한 교체부로 이루어진다. 따라서, 상기 인출 이온빔으로 인해 상기 음극이 손상되더라도 상기 교체부만을 신속하게 교체할 수 있다.
Int. CL H01J 27/02 (2006.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020140046888 (2014.04.18)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1458341-0000 (2014.10.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김기택 대한민국 대전광역시 대덕구
3 이승훈 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 강용진 대한민국 경상남도 사천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0373233-55
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0566622-84
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2014.06.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2014.06.26 수리 (Accepted) 9-1-2014-0052063-58
5 등록결정서
Decision to grant		 2014.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0735859-53
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
이온빔 소스의 몸체 상면에 구비되며, 서로 일정 간격 이격되도록 배치되어 이온빔을 인출하기 위한 개구를 형성하는 제1 음극 및 제2 음극을 포함하고,상기 제1 음극 및 제2 음극 중 적어도 하나는,상기 몸체에 의해 지지되며 내부에 냉매를 순환시키기 위한 유로를 갖는 음극 몸체부; 및 상기 음극 몸체부 상에 구비되며, 상기 이온빔의 반복적인 인출로 인해 상기 간격이 변화되는 경우 상기 간격이 일정하게 유지되도록 주기적인 교체가 가능한 교체부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스의 음극
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 음극은 일 방향으로 연장된 링 형상을 가지며, 상기 제2 음극은 상기 제1 음극의 내부에 배치되며 상기 일 방향으로 연장된 바 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스의 음극
3 3
제1항에 있어서, 상기 교체부는 상기 음극 몸체부와 결합을 위해 결합홈을 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스의 음극
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기계연구원부설재료연구소 신성장동력장비경쟁력강화사업 1.5 m급 대형 표면처리용 선형 이온빔 인출장치 기술 개발