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다층의 광결정층을 갖는 발광소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130897
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 발광소자 제조방법은, 기판 상에 나노 구조물 패턴의 광결정 구조를 갖는 제1 광결정층을 형성하는 단계와, 상기 제1 광결정층 상에 나노 구조물 패턴의 광결정 구조를 갖는 제2 광결정층을 형성하는 단계, 및 상기 제2 광결정층 상에 제1 전극층, 발광층, 제2 전극층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 51/52 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/502(2013.01) H01L 51/502(2013.01) H01L 51/502(2013.01) H01L 51/502(2013.01)
출원번호/일자 1020120137154 (2012.11.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1471089-0000 (2014.12.03)
공개번호/일자 10-2014-0073622 (2014.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20141212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.29)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형섭 대한민국 대전광역시 유성구
2 전소희 대한민국 서울 서초구
3 김사라 대한민국 대전 유성구
4 최준혁 대한민국 대전 유성구
5 최대근 대한민국 대전 유성구
6 이지혜 대한민국 대전 유성구
7 정주연 대한민국 대전 유성구
8 이응숙 대한민국 경남 창원시 마산회원구
9 정준호 대한민국 대전 서구
10 윤재륜 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0991510-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.12.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0010501-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0117119-67
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0373302-18
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0466986-64
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0466985-18
8 등록결정서
Decision to grant
2014.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0652366-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성되면서 광결정 구조를 갖는 광추출효율향상층;상기 광추출효율향상층 상에 형성되는 제1 전극층;상기 제1 전극층 상에 형성되면서 전류의 흐름에 따라 빛을 발하는 발광층; 및상기 발광층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함하고,상기 광추출효율향상층은, 이종 재질의 물질이 상기 기판 면에 평행한 제1 방향을 따라 교번하여 배열된 나노 구조물 패턴을 갖는 광결정층이 상기 기판 면에 수직한 제2 방향을 따라 복수 개 적층되어 형성되고,상기 광결정층은 제1 오목부와 제1 볼록부를 갖는 제1 나노구조물층과, 상기 제1 나노구조물층과 서로 다른 재질을 포함하며 상기 제1 나노구조물층의 제1 오목부에 적어도 일부가 삽입되어 적층된 제1 평탄화층을 포함하는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제1 평탄화층은 상기 제1 나노구조물층의 제1 오목부에 채워지는 제2 볼록부를 포함하는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제1 평탄화층은 상기 제1 나노구조물층의 제1 오목부의 일부에 삽입되는 제2 볼록부를 포함하는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
5 5
제 4 항에 있어서,상기 제1 나노구조물층과 상기 제1 평탄화층의 사이에는 빈 공간(cavity)을 포함하는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제1 나노구조물층 및 제1 평탄화층 중 어느 하나는 산화지르코늄(ZrO2)으로 이루어지고, 다른 하나는 SOG (spin on glass)로 이루어지는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
7 7
제 1 항에 있어서,상기 광결정층은 상기 나노 구조물 패턴으로 형성된 빈 공간(cavity)을 포함하는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
8 8
제 7 항에 있어서,상기 광결정층은 산화지르코늄(ZrO2) 또는 SOG (spin on glass)로 이루어지는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
9 9
제 1 항에 있어서,상기 발광층은 유기 발광층인 것을 특징으로 하는, 다층의 광결정층을 갖는 발광소자
10 10
기판 상에 나노 구조물 패턴의 광결정 구조를 갖는 제1 광결정층을 형성하는 단계;상기 제1 광결정층 상에 나노 구조물 패턴의 광결정 구조를 갖는 제2 광결정층을 형성하는 단계; 및상기 제2 광결정층 상에 제1 전극층, 발광층, 제2 전극층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 광결정층을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 나노구조물층 물질을 도포하는 예비 나노구조물층 형성단계; 상기 예비 제1 나노구조물층 상에 몰드를 가압하여 나노 구조물 패턴을 갖도록 임프린트 시키는 나노임프린트 단계; 상기 예비 제1 나노구조물층을 경화시켜 나노임프린트 패턴된 나노구조물층을 형성하는 나노구조물층 형성단계; 및 상기 나노구조물층 상에 평탄화층 물질을 도포하고 경화시켜 평탄화층을 형성하는 평탄화층 형성단계를 포함하며,상기 예비 나노구조물층 형성단계 내지 상기 평탄화층 형성단계를 반복하여, 상기 평탄화층 상에 상기 제2 광결정층을 적층하고,상기 제1 광결정층은, 제1 오목부와 제1 볼록부를 갖는 제1 나노구조물층과, 상기 제1 나노구조물층과 서로 다른 재질을 포함하며 상기 제1 나노구조물층의 제1 오목부에 적어도 일부가 삽입되어 적층된 제1 평탄화층을 포함하는, 발광소자 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서,상기 예비 나노구조물층 형성단계 내지 상기 평탄화층 형성단계를 반복하여, 상기 제2 광결정층과 제1 전극층 사이에 적어도 1층 이상의 광결정층을 더 형성하는, 발광소자 제조방법
12 12
제 10 항에 있어서,상기 나노구조물층 형성단계는,자외선 경화법으로 상기 예비 나노구조물층을 경화시키는 것을 포함하는, 발광소자 제조방법
13 13
제 10 항에 있어서,상기 제1 광결정층을 형성하는 단계는,상기 임프린트 패턴된 나노구조물층을 어닐링(annealing) 하는 어닐링 단계를 더 포함하는, 발광소자 제조방법
14 14
제 10 항에 있어서,상기 제1 광결정층을 형성하는 단계는,점착방지물질을 이용하여 상기 나노임프린트 패턴된 상기 나노구조물층의 표면에 자기조립단분자막(self-assembled monolayer)을 형성시켜 점착방지층(anti-adhesion layer)을 형성하는 단계를 더 포함하는, 발광소자 제조방법
15 15
제 14 항에 있어서,상기 제1 광결정층을 형성하는 단계는,상기 점착방지층이 형성된 상기 나노구조물층의 표면을 에어 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함하는, 발광소자 제조방법
16 16
제 10 항에 있어서,상기 제1 광결정층을 형성하는 단계는,상기 나노구조물층과 상기 평탄화층을 어닐링(annealing)하는 어닐링단계를 더 포함하는, 발광소자 제조방법
17 17
제 16 항에 있어서,상기 나노구조물층은 자외선 경화성 폴리머 재질로 이루어지고,상기 어닐링 단계에서 상기 나노구조물층은 하소(calcinations)되는, 발광소자 제조방법
18 18
제 17 항에 있어서,상기 평탄화층은 산화지르코늄(ZrO2) 또는 SOG (spin on glass)로 이루어지는, 발광소자 제조방법
19 19
제 10 항에 있어서,상기 나노구조물층 및 평탄화층 중 어느 하나는 산화지르코늄(ZrO2)으로 이루어지고, 다른 하나는 SOG (spin on glass)로 이루어지는, 발광소자 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 비노광 기반 나노구조체 제작 기술 (1/1)