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외부와 밀폐되게 형성되며, 내부에 웨이퍼(900)를 이송하는 이송수단(110)이 구비되는 메인 챔버(100);상기 메인 챔버(100)의 일측에 형성되어 상기 메인 챔버(100) 내부로 웨이퍼(900)를 공급하는 공급 챔버(200);상기 메인 챔버(100)의 타측에 형성되어 상기 메인 챔버(100)를 통과한 웨이퍼(900)를 회수하는 회수 챔버(300);상기 공급 챔버(200)의 일측에 형성되어 공급 챔버(200)로 웨이퍼(900)를 투입하며, 일측에 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(420)가 형성되는 투입 챔버(400); 및상기 회수 챔버(300)의 일측에 형성되어 회수 챔버(300)에 회수된 웨이퍼(900)를 취출하며, 일측에 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(520)가 형성되는 취출 챔버(500);상기 메인 챔버(100)의 내부 또는 외부에 구비되는 인덕터(600);상기 메인 챔버(100)에 형성되어 메인 챔버(100) 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부(700); 및상기 메인 챔버(100)에 형성되어 메인 챔버(100) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(800); 를 포함하여 이루어지며,상기 공급 챔버(200)와 투입 챔버(400) 사이에는 개폐 가능한 제1셔터(210)가 형성되고, 상기 투입 챔버(400)의 일측에는 개폐 가능한 제3셔터(410)가 형성되고, 상기 회수 챔버(300)와 취출 챔버(500) 사이에는 개폐 가능한 제2셔터(310)가 형성되고, 상기 취출 챔버(500)의 일측에는 개폐 가능한 제4셔터(510)가 형성되며,상기 웨이퍼(900)는 상면에 금속 촉매층(910)이 형성되어 상기 인덕터(600)에 의해 상기 금속 촉매층(910)이 가열되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 웨이퍼(900) 상면에 형성되는 금속 촉매층(910)은 하나 이상의 자성물질들로 형성되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 웨이퍼(900)와 금속 촉매층(910) 사이 또는 상기 웨이퍼(900)의 하면에 보조 히팅부(930)가 더 형성되고, 상기 금속 촉매층(910)은 비자성 또는 약자성 금속으로 형성되며, 상기 보조 히팅부(930)는 큐리점이 1130℃ 이상인 물질로 형성되어, 상기 인덕터(600)에 의해 상기 보조 히팅부(930)가 가열되고 상기 보조 히팅부(930)에 의해 상기 금속 촉매층(910)이 가열되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항의 장치를 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 방법에 있어서,투입 챔버(400)를 제외한 나머지 챔버(100,200,300,500)들의 내부를 진공상태로 만드는 단계(S10);투입 챔버(400)에 웨이퍼(900)들을 넣고 상기 투입 챔버(400) 내부를 진공으로 만드는 단계(S20);상기 웨이퍼(900)들을 공급 챔버(200)로 이동하는 단계(S30);상기 공급 챔버(200)에서 메인 챔버(100)로 웨이퍼(900)를 순차적으로 공급하는 단계(S40);상기 공급되는 웨이퍼(900)들을 메인 챔버(100)를 통과시키고, 가스 공급부(700)에서 탄소를 포함한 가스를 공급하고 가스 배출부(800)에서 가스를 배출하며, 상기 인덕터(600)로 웨이퍼(900) 상면에 형성된 금속 촉매층(910)을 가열하여 그래핀(920)이 합성되는 단계(S50);상기 그래핀(920)이 합성된 웨이퍼(900)들을 회수하는 단계(S60);상기 회수된 웨이퍼(900)들을 취출 챔버(500)로 이동하는 단계(S70);상기 취출 챔버(500)에서 웨이퍼(900)들을 빼내고 취출 챔버(500) 내부를 진공으로 만드는 단계(S80); 및상기 S20단계 내지 S80단계를 반복하는 단계(S90); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 방법
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제5항에 있어서,제1셔터(210)와 제3셔터(410)는 동시에 개방되지 않으며, 제2셔터(310)와 제4셔터(510)는 동시에 개방되지 않는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 방법
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제6항에 있어서,상기 제1셔터(210)는 투입 챔버(400)가 진공상태일 때에만 개방되며, 상기 제2셔터(310) 또한 취출 챔버(500)가 진공상태일 때에만 개방되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 방법
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