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하프 메탈 Fe3O4박막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015131004
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하프 메탈인 Fe3O4 박막 제조 방법에 관한 것이다. 하프 메탈 제조 방법에 있어서, (가) 챔버 내에 기판 및 Fe 타겟을 장착하고 상기 챔버 내부의 가스를 외부로 배기하는 단계; 및 (나) 상기 챔버 내부에 산소 가스를 1.0 내지 1.8 sccm의 유량으로 공급하여 상기 기판 상에 하프 메탈 Fe3O4 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 하프 메탈 Fe3O4 박막 제조 방법을 제공한다.
Int. CL G11B 5/39 (2006.01) G11B 5/31 (2006.01)
CPC G11B 5/70642(2013.01) G11B 5/70642(2013.01) G11B 5/70642(2013.01) G11B 5/70642(2013.01)
출원번호/일자 1020050036519 (2005.04.30)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0113244 (2006.11.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.04.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성래 대한민국 서울 강남구
2 정민경 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0229531-56
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2005.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2005-5054813-16
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0492915-68
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-5085147-66
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-5095675-30
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0976739-01
7 의견서
Written Opinion
2006.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0976737-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.03.22 수리 (Accepted) 4-1-2007-5043540-16
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0268628-50
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-5067816-15
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2007-0596358-30
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0522736-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하프 메탈 Fe3O4 박막 제조 방법에 있어서,(가) 챔버 내에 기판 및 Fe 타겟을 장착하고 상기 챔버 내부의 가스를 외부로 배기하는 단계; 및(나) 상기 챔버 내부에 산소 가스를 1
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기판은 Si, SiO2 또는 글래스인 것을 특징으로 하는 하프 메탈 Fe3O4 박막 제조 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 (나) 단계는, 분위기 가스를 공급하여 상기 챔버 내부에 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 하프 메탈 Fe3O4 박막 제조 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 챔버 내부에 산소 가스를 1
5 5
제 1항에 있어서, 상기 하프 메탈 Fe3O4 박막은 상온에서 형성하는 것을 특징으로 하는 하프 메탈 Fe3O4 박막 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.