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통전이 가능하도록 이중의 전도성박막이 적층되어 있는 열전쌍 탐침과, 상기 열전 탐침의 외팔보에 연결되어 교류전류를 공급하며 상기 열전쌍 탐침과 샘플간의 접점에서 상기 전도성 박막에 발생하는 열전전압신호를 분리하는 록인(lock-in) 증폭기와, 열전쌍 탐침에 직렬로 연결되어 신호측정시 구동전압을 제거하는 가변저항기와, 상기 가변저항기에 연결되어 상기 탐침이 샘플표면을 주사하는 동안 전류의 크기를 일정하게 유지시키는 부가저항과, 상기 탐침에서 발생하는 열전전압을 증폭시키는 차동증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 열전쌍 탐침은 크롬(Cr)과 금(Au)을 탐침의 첨단에서 접합시켜 형성한 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 열전쌍 탐침은 첨단부분 외에는 양 금속 사이에 부도체가 매개되어 있는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 가변저항은 상기 탐침을 가열하기 위해 공급되는 주파수 ω의 전압신호를 제거하여 측정감도를 향상시키고 공급전원에 포함되어 있는 측정하고자 하는 주파수의 노이즈 신호를 제거시키도록 열전쌍 탐침과 직렬로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 부가저항은 열전쌍 탐침의 첨단에서의 온도변화에 의한 저항의 변화가 회로에 흐르는 전류에 영향을 미치는 것을 방지하고 회로 내에서의 전류를 일정하게 유지시키도록 테스트 패턴의 저항보다 훨씬 큰 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정장치
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통전이 가능하도록 이중의 전도성 박막이 적층되어 있는 열전쌍 탐침을 샘플의 표면에 접촉시켜 나노단위의 접점을 형성시키는 제1 단계와, 상기 이중의 전도성 박막에 교류전류를 가하여 상기 탐침의 첨단을 국소적으로 발열시키는 제2 단계와, 상기 발열에 의한 온도진동으로부터 열전전압을 측정하는 제3 단계와, 상기 열전 전압을 통해 상기 첨단에서의 국소적인열전계수를 구하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정방법
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제4항에 있어서, 상기 제2 단계에서는 열전쌍 접점을 주파수 ω의 교류전류에 의하여 펠티에 효과에 의하여 발열시키고, 상기 제3 단계에서는 상기 발열에 의해 열전쌍 접점에서 발생하는 주파수 2ω의 열전전압을 측정하는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정방법
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제4항에 있어서, 상기 제 3단계에서의 발생되는 주울 열은 수학식에 의하여 산출되는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정방법
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제4항에 있어서, 상기 제3 단계에서의 온도진동은 수학식 에 의하여 산출되는 주파수 2ω를 가지는 온도진폭인 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정방법
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제4항에 있어서, 상기 제3 단계에서는 열전쌍 탐침과 가변저항기 각각에 걸리는 전압을 록-인 증폭기에서 감산하여 열전쌍 탐침에서 발생하는 2ω와 3ω 주파수의 전압신호만을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정방법
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제4항에 있어서, 상기 제3단계에서는 발생된 열전전압에서 공급전류의 주파수 ω를 분리하여 주울 효과에 의한 주파수 2ω만을 측정하는 것을 특징으로 하는 점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정방법
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