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이송대상의 제 1 유체가 유입되는 인렛 홀과 상기 제 1 유체가 유출되는 아웃렛 홀을 연결하는 메인채널;
상기 인렛 홀과 상기 아웃렛 홀 사이에서 상기 메인채널에 각각 연결된 서브 인렛 홀과 서브 아웃렛 홀을 연결하고, 상기 제 1 유체와 섞이지 않는 제 2 유체가 충진된 서브채널;
상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀 사이의 상기 메인채널에 삽입된 상기 제 2 유체의 방울;
상기 메인채널의 일측을 따라 배치되어 구동전압이 인가되는 제 1 전극; 및
상기 제 1 전극과 마주보도록 상기 메인채널의 또 다른 일측을 따라 배치되고, 공통전압이 인가되는 제 2 전극을 포함하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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2 |
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청구항 1에 있어서,
상기 메인채널과 상기 서브채널의 내면은 소수성을 나타내는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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3 |
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삭제
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4 |
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제 1 기판;
상기 제 1 기판 일면을 따라 배치되고 구동전압이 인가되는 제 1 전극;
상기 제 1 전극을 덮는 유전체막;
상기 제 1 전극을 지나는 메인채널과, 상기 제 1 전극을 사이에 두고 상기 메인채널에 각각 연결된 서브 인렛 홀과 서브 아웃렛 홀을 연결하는 서브채널이 관통 형성되어 상기 유전체막을 덮는 채널층; 및
상기 채널층을 덮는 제 2 기판을 포함하며,
상기 제 1 및 제 2 기판 중 하나로부터는 상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀을 사이에 두고 상기 메인채널에 각각 연결되어 이송대상의 제 1 유체가 유입되는 인렛 홀과 상기 제 1 유체가 유출되는 아웃렛 홀이 관통되고,
상기 서브채널에는 상기 제 1 유체와 섞이지 않는 제 2 유체가 충진되고,
상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀 사이의 상기 메인채널에는 상기 제 2 유체의 방울이 삽입되는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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5
청구항 4에 있어서,
상기 유전체막과 상기 채널층 사이로 개재된 제 1 소수성막; 및
상기 제 2 기판과 상기 채널층을 사이로 개재된 제 2 소수성막을 더 포함하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로 펌프
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청구항 5에 있어서,
상기 제 1 전극과 마주보도록 상기 제 2 기판과 상기 제 2 소수성막 사이로 개재되고, 공통전압이 인가되는 제 2 전극을 더 포함하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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7 |
7
메인채널 및 상기 메인채널에 각각 연결된 서브 인렛 홀과 서브 아웃렛 홀을 연결하는 서브채널이 일면에 구비된 제 1 기판;
상기 제 1 기판을 덮는 유전체막;
상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀 사이의 상기 메인채널을 따라 배치되어 구동전압이 인가되는 상기 유전체막 일면의 제 1 전극; 및
상기 유전체막과 상기 제 1 전극을 덮는 제 2 기판을 포함하며,
상기 제 1 및 제 2 기판 중 하나로부터는 상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀을 사이에 두고 상기 메인채널에 각각 연결되어 이송대상의 제 1 유체가 유입되는 인렛 홀과 상기 제 1 유체가 유출되는 아웃렛 홀이 관통되고,
상기 서브채널에는 상기 제 1 유체와 섞이지 않는 제 2 유체가 충진되고,
상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀 사이의 상기 메인채널에는 상기 제 2 유체의 방울이 삽입되는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로 펌프
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8 |
8
청구항 7에 있어서,
상기 제 1 기판과 상기 유전체막 사이의 상기 제 1 기판 외면을 따라 형성된 제 1 소수성막; 및
상기 제 1 기판과 상기 유전체막 사이의 상기 유전체막 외면을 따라 형성된 제 2 소수성막을 더 포함하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로 펌프
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9
청구항 8에 있어서,
상기 제 1 전극과 마주보도록 상기 제 1 기판과 상기 제 1 소수성막 사이로 개재되고, 공통전압이 인가되는 제 2 전극을 더 포함하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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10 |
10
청구항 1, 4, 7 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,
상기 제 1 유체는 액체이고, 상기 제 2 유체는 액체 또는 기체인 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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11 |
11
청구항 1, 4, 7 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,
상기 제 1 전극은 상기 메인채널과 교차되게 서로 나란히 배치된 복수의 어레이 전극인 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프
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