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유기 절연성 물질의 매트릭스; 및
상기 매트릭스 내에 위치하는, 금속 산화물 나노입자의 표면의 적어도 일부 상에 코팅된 중합체를 포함하는 복합 나노입자를 포함하고,
상기 중합체는 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리에테르, 폴리우레탄, 폴리올레핀, 폴리아크릴로나이트릴, 폴리염화비닐, 폴리스티렌, 폴리아크릴레이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리에틸아크릴레이트, 폴리비닐아세테이트, 폴리염화비닐리덴, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리카보네이트, 폴리노보넨 및 폴리이미드로 이루어지는 군으로부터 선택되는 절연막
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제1항에 있어서, 유기 절연성 물질은 폴리에스테르, 폴리비닐부티랄, 폴리아세탈, 폴리아릴레이트, 폴리아마이드, 폴리아마이드이미드, 폴리에테르이미드, 폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르설폰, 폴리에테르케톤, 폴리프탈아마이드, 폴리에테르니트릴, 폴리벤즈이미다졸, 폴리카보디이미드, 폴리실록산, 폴리메타크릴아마이드, 니트릴 고무, 아크릴 고무, 에폭시 수지, 페놀 수지, 멜라민 수지, 우레아 수지, 폴리부텐, 폴리펜텐, 폴리비닐페놀, 폴리스티렌, 카복실화 폴리스티렌, 폴리아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리염화비닐, 폴리비닐리덴 플루오라이드, 폴리(알파-메틸스티렌), 시아노에틸풀루란(CyEPL), 폴리노보넨, 폴리비닐피롤리돈, 가교 폴리비닐피롤리돈, 벤조사이클로부텐(BCB), 퍼플루오로사이클로부탄, 폴리이미드, 폴리이미드아마이드, 폴리비닐카보네이트, 폴리카프로락탐, 폴리자일릴렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 에틸렌-프로필렌 공중합체, 에틸렌-부텐-디엔 공중합체, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체, 부틸 고무, 폴리메틸펜텐, 스티렌-부타디엔 공중합체, 수소화 수티렌-부타디엔 공중합체, 수소화 폴리이소프렌, 수소화 폴리부타디엔으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 절연막
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제1항 또는 제2항에 있어서, 금속 산화물은 IIA족, IIIB족, IVB족, VB족, IIB족, IIIA족, IVA족, VA족 및 란탄족으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 단일 금속 또는 다중 금속의 산화물인 절연막
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제3항에 있어서, 금속 산화물은 Ta2O5, Y2O3, TiO2, ZrO2, HfO2, CeO2, Pr2O3, Gd2O3, BaxSr1-xTiO3 (BST), PbZrxTi1-xO3 (PZT), Bi4Ti3O12, SrBi2(Ta1-xNbx)2O9 (SBT), Ba(Zr1-xTix)O3 (BZT), Pb(Sc1/2-xTa1/2+x)O3+x, Pb(Zn1/3Nb2/3)O3 (PZN), Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 (PMN)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 절연막
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제1항 또는 제2항에 있어서, 금속 산화물의 유전 상수(k)는 5 이상인 절연막
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삭제
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 중합체는 금속 산화물 나노입자의 표면의 면적의 70% 이상에 코팅되는 절연막
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제1항 또는 제2항의 절연막을 게이트 절연막으로서 포함하는 반도체 소자
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제1항 또는 제2항의 절연막을 캐패시터 절연막으로서 포함하는 반도체 소자
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제8항의 반도체 소자를 포함하는 디스플레이 장치
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제9항의 반도체 소자를 포함하는 디스플레이 장치
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금속 산화물 나노입자의 표면 상에서 단량체의 중합을 일으켜 상기 금속 산화물 나노입자의 표면의 적어도 일부 상에 코팅된 중합체를 포함하는 복합 나노입자를 제조하는 단계;
유기 절연성 물질의 용액 또는 용융물과 상기 복합 나노입자를 혼합하여 혼합물을 얻는 단계;
상기 혼합물을 도포한 뒤 건조하는 단계를
포함하는 청구항 1 기재의 절연막의 제조방법
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13
제12항에 있어서, 유기 절연성 물질은 폴리에스테르, 폴리비닐부티랄, 폴리아세탈, 폴리아릴레이트, 폴리아마이드, 폴리아마이드이미드, 폴리에테르이미드, 폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르설폰, 폴리에테르케톤, 폴리프탈아마이드, 폴리에테르니트릴, 폴리벤즈이미다졸, 폴리카보디이미드, 폴리실록산, 폴리메타크릴아마이드, 니트릴 고무, 아크릴 고무, 에폭시 수지, 페놀 수지, 멜라민 수지, 우레아 수지, 폴리부텐, 폴리펜텐, 폴리비닐페놀, 폴리스티렌, 카복실화 폴리스티렌, 폴리아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리염화비닐, 폴리비닐리덴 플루오라이드, 폴리(알파-메틸스티렌), 시아노에틸풀루란(CyEPL), 폴리노보넨, 폴리비닐피롤리돈, 가교 폴리비닐피롤리돈, 벤조사이클로부텐(BCB), 퍼플루오로사이클로부탄, 폴리이미드, 폴리이미드아마이드, 폴리비닐카보네이트, 폴리카프로락탐, 폴리자일릴렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 에틸렌-프로필렌 공중합체, 에틸렌-부텐-디엔 공중합체, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체, 부틸 고무, 폴리메틸펜텐, 스티렌-부타디엔 공중합체, 수소화 스티렌-부타디엔 공중합체, 수소화 폴리이소프렌, 수소화 폴리부타디엔으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 방법
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제12항 또는 제13항에 있어서, 금속 산화물은 IIA족, IIIB족, IVB족, VB족, IIB족, IIIA족, IVA족, VA족 및 란탄족으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 단일 금속 또는 다중 금속의 산화물인 방법
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제14항에 있어서, 금속 산화물은 Ta2O5, Y2O3, TiO2, ZrO2, HfO2, CeO2, Pr2O3, Gd2O3, BaxSr1-xTiO3 (BST), PbZrxTi1-xO3 (PZT), Bi4Ti3O12, SrBi2(Ta1-xNbx)2O9 (SBT), Ba(Zr1-xTix)O3 (BZT), Pb(Sc1/2-xTa1/2+x)O3+x, Pb(Zn1/3Nb2/3)O3 (PZN), Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 (PMN)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 방법
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제12항 또는 제13항에 있어서, 금속 산화물의 유전 상수(k)는 5 이상인 방법
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제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 유기 절연성 물질의 용액 또는 용융물과 복합 나노입자를 혼합하는 단계는 초음파 처리를 이용하여 이루어지는 방법
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제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 혼합물을 기재상에 도포하는 단계는 스핀 캐스팅에 의해 이루어지는 방법
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