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마이크로 펌프에 있어서
상기 마이크로 펌프의 몸체;
상기 몸체를 상부와 하부의 두 개의 공간으로 분리하는 박막;
상기 박막의 상부 공간에 형성되고 제1유체유입구 및 제1유체배출구가 연결되어 있는 제1유체수송통로;
상기 박막의 하부 공간에 형성되고 제2유체유입구 및 제2유체배출구가 연결되어 있는 제2유체수송통로;
상기 박막의 상부 공간에 형성된 제1전자석; 및
상기 박막의 하부 공간에 형성된 제2전자석;을 구비하고
상기 제1전자석 또는 상기 제2전자석에 전류를 교대로 인가하여 형성된 자기력에 의해 상기 박막이 상하로 팽창과 수축을 반복하는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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마이크로 펌프에 있어서
상기 마이크로 펌프의 몸체;
상기 몸체를 상부와 하부의 두 개의 공간으로 분리하는 박막;
상기 박막의 상부 공간에 형성되고 제1유체유입구 및 제1유체배출구가 연결되어 있는 제1유체수송통로;
상기 박막의 하부 공간에 형성되고 제2유체유입구 및 제2유체배출구가 연결되어 있는 제2유체수송통로;
상기 몸체의 외측 상부에 형성된 제1전자석; 및
상기 몸체의 외측 하부에 형성된 제2전자석;을 구비하고
상기 제1전자석 또는 상기 제2전자석에 전류를 교대로 인가하여 형성된 자기력에 의해 상기 박막이 상하로 팽창과 수축을 반복하는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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3
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1유체유입구는, 상기 박막이 상기 제1유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 닫히고, 상기 제2유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 열리는 제1유체유입밸브를 더 구비하고,
상기 제1유체배출구는, 상기 박막이 상기 제1유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 열리고, 상기 제2유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 닫히는 제1유체배출밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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4
제3항에 있어서,
상기 제2유체유입구는, 상기 박막이 상기 제2유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 닫히고, 상기 제1유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 열리는 제2유체유입밸브를 더 구비하고,
상기 제2유체배출구는, 상기 박막이 상기 제2유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 열리고, 상기 제1유체수송통로 쪽으로 팽창된 경우에는 닫히는 제2유체배출밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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5
제4항에 있어서,
자성 물질이 상기 박막의 전체 표면적에 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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| 6 |
6
제4항에 있어서,
자성 물질이 상기 박막의 중심부에 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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| 7 |
7
제5항에 있어서,
상기 제1유체수송통로에 유체가 유입되는 경우에는, 상기 제2유체수송통로에서 유체가 배출되고, 상기 제2유체수송통로에 유체가 유입되는 경우에는, 상기 제1유체수송통로에서 유체가 배출되는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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| 8 |
8
제7항에 있어서,
상기 제1유체수송통로와 상기 제2유체수송통로는 서로 다른 종류의 유체의 수송이 가능한 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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9
제6항에 있어서,
상기 제1유체수송통로에 유체가 유입되는 경우에는, 상기 제2유체수송통로에서 유체가 배출되고, 상기 제2유체수송통로에 유체가 유입되는 경우에는, 상기 제1유체수송통로에서 유체가 배출되는 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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| 10 |
10
제9항에 있어서,
상기 제1유체수송통로와 상기 제2유체수송통로는 서로 다른 종류의 유체의 수송이 가능한 것을 특징으로 하는 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비하는 마이크로펌프
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