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주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법

  • 기술번호 : KST2015131860
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노스케일(nano scale)의 해상력을 가지고 시편을 주사(scanning)하여 시편의 열적 특성 등을 이미지로 나타내는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 주사탐침열현미경의 탐침이 시편에 접촉된 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 온도(즉, 접촉모드 온도)을 계측하는 단계와; 상기 주사탐침열현미경의 탐침이 상기 시편으로부터 유격된 높이에 따라서 복수 회 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 온도(즉, 리프트모드 온도)를 계측하는 단계와; 상기 복수 회의 리프트모드 온도으로부터 외삽법에 의해, 상기 유격된 높이가 ''0''인 보간 온도를 산출하는 단계와; 상기 접촉모드 온도과 상기 보간 온도의 비교에 의해, 국부 정량적 온도 및 열전도도를 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법을 제시한다.주사탐침열현미경, 탐침, 온도
Int. CL G01N 25/18 (2006.01) G01Q 60/58 (2010.01)
CPC
출원번호/일자 1020090058290 (2009.06.29)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1130223-0000 (2012.03.19)
공개번호/일자 10-2011-0004925 (2011.01.17) 문서열기
공고번호/일자 (20120412) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권오명 대한민국 서울특별시 도봉구
2 김경태 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인주원 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0394334-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0056961-88
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0202665-32
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0449032-86
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0537190-78
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0537164-91
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0688409-25
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2011.12.23 수리 (Accepted) 7-1-2011-0050256-44
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.01.20 수리 (Accepted) 7-1-2012-0003016-47
12 등록결정서
Decision to grant
2012.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0156177-84
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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주사탐침열현미경의 탐침이 시편에 접촉된 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 접촉모드 온도를 계측하는 단계와;상기 주사탐침열현미경의 탐침이 상기 시편으로부터 유격된 높이를 달리하면서 상기 시편으로부터 유격된 높이마다 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 리프트모드 온도를 복수 회 계측하는 단계와;상기 복수 회의 리프트모드 온도로부터 상기 시편의 접촉모드 온도에서 상기 탐침과 시편의 접촉을 통한 열유속의 영향이 배제된 비열접촉모드 온도를 산출하는 단계와; 상기 접촉모드 온도와 상기 비열접촉모드 온도의 비교에 의해, 정량적 온도 및 열전도도를 획득하는 단계;를 포함하며,상기 비열접촉모드 온도는 상기 복수 회의 리프트모드 온도로부터 외삽법에 의해 산출된, 상기 시편으로부터 유격된 높이가 ''0''인 보간 온도인 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법
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청구항 1에 있어서, 상기 외삽법의 수학식은 다음과 같으며,여기서, Tl은 탐침이 시편과 접촉하기 바로 전의 ''0''의 높이에서 계측된 국부 온도,Tl1과 Tl2는 리프트모드시 상술한 유격된 높이가 l1,l2일 때 계측된 온도, x는 시편의 주사 위치인 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법
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청구항 1에 있어서, 전기 전도도는 SSRM 이론에 의해 다음과 같은 원통좌표계(cylindrical coordinate system) 열전달방정식으로부터 유도되는 식에 의해 획득될 수 있으며 여기서, I는 탐침과 시편의 접촉을 통한 전류, Relec은 전기저항, Vsub은 접촉시 시편의 전압, Vground는 그라운드 전압, α는 탐침과 시편의 접촉반경, σ 는 시편의 국부 전기 전도도이고;전류는 열류, 전압은 온도차, 전기 전도도는 열전도도로 대응됨에 따라서 상기의 전기 전도도 식으로부터 열전도도 식이 다음과 같이 획득될 수 있으며여기서, Qts는 탐침과 시편의 접촉을 통한 열전도도, Rth는 열저항, Tsub는 접촉시 시편의 온도, T∞는 주변 온도, α는 탐침과 시편의 접촉 반경, k는 시편의 국부 열전도도;인 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법
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시편의 온도 및 열전도도 계측을 위한 탐침;상기 탐침과 전기 회로적으로 연결되어, 상기 시편을 주사하기 위해 가열시에는 고주파 교류 전압을 인가하고, 계측신호 계측시에는 상기 탐침의 열전쌍의 직류 열전 전압에 따른 계측신호를 계측하는 구동부;를 포함하여 구성되며,상기 고주파 교류 전압은 상기 열전쌍 물질의 열질량에 따른 온도 진동이 방지되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경
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청구항 4에 있어서,상기 탐침은 모체 및, 상기 모체 상에 구비되고 상기 구동부와 전기 회로적으로 연결되는 열전쌍을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경
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1 WO2011002201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
2 WO2011002201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
3 WO2011002201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2011002201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2011002201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
3 WO2011002201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국학술진흥재단 한국학술진흥재단 기초과학『하반기_단독』 [학진]공기 열전도 배제를 통한 나노스케일 정량적 열전도도 계측기법 개발