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기판 표면에 솔더볼을 전사하기 위한 것으로,판 형상의 본체; 및상기 본체 상에 정의되며 상기 기판 상 솔더볼 부착 위치에 대응되는 위치에 친수성 액적을 형성할 수 있도록 하는 친수성 영역을 포함하여,상기 친수성 액적에 솔더볼을 자가정렬시켜 기판 표면으로 전사시키는 액적 마이크로그리퍼
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제1항에 있어서, 상기 본체는 상기 기판과 정렬이 용이하도록 투명한 재질인 것을 특징으로 하는 액적 마이크로그리퍼
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제1항에 있어서, 상기 본체는 유리, 실리콘 및 플라스틱 중 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 액적 마이크로그리퍼
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제1항에 있어서, 상기 친수성 영역은 상기 본체 표면을 선택적으로 친수성 처리하여 형성한 것을 특징으로 하는 액적 마이크로그리퍼
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제1항에 있어서, 상기 친수성 영역은 상기 본체 표면에 형성된 소수성의 보호막(passivation layer)으로 둘러싸여 상기 본체 표면을 노출시키는 개구부인 것을 특징으로 하는 액적 마이크로그리퍼
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 기재에 따른 액적 마이크로그리퍼 상에 친수성 액적을 형성하고 상기 액적에 솔더볼을 자가정렬시키는 단계;상기 솔더볼을 사이에 두고 상기 액적 마이크로그리퍼와 기판을 정렬시켜 접촉시킴으로써 상기 솔더볼을 상기 기판에 전사하는 단계; 상기 액적 마이크로그리퍼를 제거하는 단계; 및상기 솔더볼을 리플로우(reflow)시켜 상기 솔더볼을 상기 기판에 부착하는 단계를 포함하는 솔더볼 부착 방법
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제6항에 있어서, 상기 기판 상에 플럭스를 도포하여 상기 솔더볼 전사시 상기 솔더볼이 상기 플럭스에 접촉하도록 하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 부착 방법
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8
제6항에 있어서, 상기 플럭스는 상기 기판 위에 전체적으로 코팅하거나 상기 기판의 솔더볼 랜드에만 코팅하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 부착 방법
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제6항에 있어서, 상기 액적 마이크로그리퍼 상에 친수성 액적을 형성하고 상기 액적에 솔더볼을 자가정렬시키는 단계는,상기 마이크로그리퍼 상에 상기 액적을 형성할 용액을 적용하여 상기 친수성 영역에 액적을 형성하는 단계; 및상기 액적이 형성된 마이크로그리퍼 상에 솔더볼을 적용하여 상기 액적과 접촉하지 않는 솔더볼을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 부착 방법
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제6항에 있어서, 상기 액적 마이크로그리퍼 상에 친수성 액적을 형성하고 상기 액적에 솔더볼을 자가정렬시키는 단계는,상기 액적을 형성할 용액을 솔더볼과 섞어 상기 마이크로그리퍼 상에 적용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 부착 방법
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