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알루미나용 식각액 조성물

  • 기술번호 : KST2015132015
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Al2O3용 식각액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아미노계 실란 용액 및 물을 포함함으로써 Al2O3을 선택적으로 식각하여 수 ㎛ 크기의 패턴을 형성할 수 있는 Al2O3용 식각액 조성물에 관한 것이다.
Int. CL C09K 13/00 (2006.01)
CPC C09K 13/00(2013.01) C09K 13/00(2013.01)
출원번호/일자 1020100003175 (2010.01.13)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1156057-0000 (2012.06.07)
공개번호/일자 10-2011-0083124 (2011.07.20) 문서열기
공고번호/일자 (20120620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.13)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하정숙 대한민국 서울특별시 노원구
2 박현희 대한민국 서울특별시 서초구
3 강필수 대한민국 서울특별시 구로구
4 김규태 대한민국 경기도 광명시 가림일로 **,
5 김준성 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0022509-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0034544-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0448819-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0788086-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0788085-02
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0079765-81
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0266964-55
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0266965-01
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0266966-46
12 등록결정서
Decision to grant
2012.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0322370-95
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
아미노계 실란 용액; 및 물을 포함하고, 강산 또는 강염기를 포함하지 않는 Al2O3용 식각액 조성물
2 2
청구항 1에 있어서,상기 아미노계 실란 용액과 물은 0
3 3
청구항 1에 있어서,상기 아미노계 실란 용액은 아미노계 실란 화합물과 용매의 혼합물이고, 그 농도는 50~99
4 4
청구항 3에 있어서,상기 아미노계 실란 화합물은 아미노C1-6알킬기와 C1-6알콕시기를 포함하는 실란 화합물이고, 상기 용매는 물인 것을 특징으로 하는 Al2O3용 식각액 조성물
5 5
청구항 4에 있어서,상기 아미노계 실란 화합물은 3-아미노프로필 트리메톡시 실란, 3-아미노에틸 트리메톡시 실란, 3-아미노프로필 트리에톡시 실란, 3-아미노에틸 트리에톡시 실란, 3-아미노메틸 트리메톡시 실란 및 3-아미노메틸 트리에톡시 실란으로 구성된 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종인 것을 특징으로 하는 Al2O3용 식각액 조성물
6 6
청구항 1에 있어서,상기 Al2O3용 식각액 조성물은 나노선 전계효과트랜지스터 또는 플렉서블 디스플레이 소자의 제조에 이용되는 것을 특징으로 하는 Al2O3용 식각액 조성물
7 7
청구항 6에 있어서,상기 나노선 전계효과트랜지스터는 서스펜디드 나노선 전계효과트랜지스터인 것을 특징으로 하는 Al2O3용 식각액 조성물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단 고려대학교 중견연구자지원_도약연구 SiP(System in Package) 소자 응용을 위한 상향식(bottom-up) 다층 패터닝 공정