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(a) 단결정 실리콘 기판을 UV/오존 처리하는 단계;(b) 상기 기판을 HF와 AgNO3 혼합 에칭용액에 침지시켜 에칭하는 단계;(c) 에칭이 종료된 기판을 HNO3 용액에 침지시켜 은 덴드라이트를 제거하고 세정 후 건조시켜 실리콘 나노와이어가 수직 배열된 실리콘 기판을 얻는 단계; 및(d) 상기 실리콘 기판에 아연 소스를 주입하고 제1 퍼징 가스를 퍼지하고 나서, 산소 소스를 주입한 후, 제2 퍼징 가스를 퍼지하는 단계를 포함하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 HF와 AgNO3 혼합 에칭용액 내의 HF의 몰농도는 3-5M이고, AgNO3의 몰농도는 0
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제1항에 있어서, 상기 에칭용액을 이용한 에칭시간은 10-60분인 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 에칭용액을 이용한 에칭단계가 완료된 이후에 형성된 실리콘 나노와이어의 직경은 50-250nm인 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 HNO3 용액의 농도는 10-50중량%인 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 아연 소스는 디에틸징크, 징크 아세테이트 디하이드레이트, 징크 아세틸아세토네이트, 메틸징크, 디메틸징크 트리에틸아민 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 며, 상기 제1 및 제2 퍼징 가스는 각각 독립적으로 아르곤, 질소, H2O, N2+Ar, H2 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 산소 소스는 H2O, O2, NO2, 이소프로판올, tert-부틸 알코올, N2O, CO2, NO 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 아연 소스의 주입은 250-350 ℃에서 2-3 Torr의 기압을 유지하면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (d)단계 이전에, 상기 실리콘 나노와이어가 수직 배열된 실리콘 기판을 에탄올에 침지시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체의 제조방법
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(a) 기판상에 수직으로 형성된 실리콘 나노와이어,(b) 상기 실리콘 나노와이어와 동심으로 셀 구조를 갖는 징크옥사이드 층을 포함하는 태양전지 전극용 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체
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제11항에 따른 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체를 포함하는 태양전지
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체
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제13항에 따른 실리콘 나노와이어/징크옥사이드 코어/쉘 나노복합체를 포함하는 태양전지
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