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시료의 양단을 지지하도록 적어도 한 쌍으로 마련되며, 상호 대향하는 면에는 상기 시료의 양단이 삽입되어 상기 시료가 휘어진 상태에서 발생하는 횡방향의 압력을 지지하는 끼움홈이 형성되는 지지부;상기 지지부에 장착되는 시료의 휘어지는 정도가 조절되도록 상기 지지부를 이동시킴으로써 상기 지지부 사이의 간격을 조절하는 간격조절부;상기 지지부의 경로를 안내하는 가이드부;주사전자현미경의 시료장착대(sample stage)에 상기 지지부를 고정하는 고정틀;을 포함하며,상기 끼움홈은 단면이 직각삼각형 또는 역직각삼각형 형상을 가짐으로써, 상기 끼움홈의 단면의 형상에 따라 삽입되는 시료가 상측 또는 하측으로 휘어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제1항에 있어서,상기 가이드부는 상기 지지부의 서로 대향하는 가장자리에 설치되어 상기 지지부를 관통하고 상기 지지부 사이를 연결하는 적어도 한 쌍의 가이드봉을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제1항에 있어서,상기 가이드부는 상기 지지부가 설치되고 상기 지지부의 이동방향을 따라 형성된 제1체결부재를 구비한 플레이트를 포함하고,상기 지지부는 상기 제1체결부재에 대응되는 형상을 가지며 상기 제1체결부재에 결합하는 제2체결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제1항에 있어서,사용자의 입력신호를 전달받아 상기 간격조절부를 구동시키는 제1제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제1항에 있어서,상기 지지부의 높낮이를 조절할 수 있는 높이조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제7항에 있어서,사용자의 입력신호를 전달받아 상기 높이조절부를 구동시키는 제2제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제1항에 있어서,상기 지지부의 경사각을 조절할 수 있는 각도조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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10
제9항에 있어서,사용자의 입력신호를 전달받아 상기 각도조절부를 구동시키는 제3제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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제10항에 있어서,상기 사용자의 입력신호는 광신호이고, 상기 광신호의 검출은 포토다이오드에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
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