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기판;상기 기판 상에 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 및 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하는 발광 구조체; 및상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되는 전도층 및 상기 전도층 상에 배치되는 전극 패드를 포함하는 전극을 포함하며,상기 제2 도전형 반도체층의 표면에는 제1 주기를 갖는 제1 요철 패턴 및 상기 제1 주기와 다른 제2 주기를 갖는 제2 요철 패턴을 포함하는 제1 광추출 구조가 마련되고,상기 제2 요철 패턴은 상기 제1 요철 패턴의 오목부 영역에 배치되고,상기 전도층은 상기 제1 광추출 구조와 동일한 프로파일(profile)을 갖는 제2 광추출 구조를 포함하는 발광 소자
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제1항에 있어서, 상기 제1 요철 패턴의 오목부와 상기 제2 요철 패턴의 오목부는 동일 평면 상에 위치하는 발광 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 요철 패턴의 볼록부의 높이는 상기 제2 요철 패턴의 볼록부의 높이보다 큰 발광 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 주기는 10um ~ 100um이고, 상기 제2 주기는 500nm ~ 600nm인 발광 소자
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제1항에 있어서,상기 기판 표면에는 서로 다른 주기를 갖는 제3 요철 패턴 및 제4 요철 패턴이 마련되고, 상기 제4 요철 패턴은 상기 제3 요철 패턴의 오목부 영역에 배치되는 발광 소자
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제1항에 있어서, 상기 전도층의 제2 광추출 구조의 오목부는 상기 제1 광추출 구조의 제2 요철 패턴의 볼록부보다 높게 위치하는 발광 소자
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제1항에 있어서,상기 전극 패드는 상기 전도층의 제2 광추출 구조 상에 배치되는 발광 소자
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기판 표면에 서로 이격하는 홈들을 포함하는 제1 요철 패턴을 형성하는 단계;상기 홈들 각각의 내부에 적어도 하나의 나노(nano) 입자를 채우는 단계;상기 홈들 내부에 채워진 나노 입자들을 식각하여 크기를 줄이는 단계;상기 크기가 준 나노 입자들을 마스크로 이용하여 상기 홈들이 형성된 기판을 식각하여 상기 홈들 내부에 제2 요철 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 요철 패턴 형성 후 잔류하는 나노 입자들을 제거하는 단계; 및상기 제1 요철 패턴 및 제2 요철 패턴이 형성된 기판 상에 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 제2 도전형 반도체층이 순차로 적층된 발광 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 발광 소자의 제조 방법
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기판 상에 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 제2 도전형 반도체층이 순차로 적층된 발광 구조체를 형성하는 단계;상기 제2 도전형 반도체층 표면에 서로 이격하는 홈들을 포함하는 제1 요철 패턴을 형성하는 단계;상기 홈들 각각의 내부에 적어도 하나의 나노 입자를 채우는 단계;상기 홈들 내부에 채워진 나노 입자들을 식각하여 크기를 줄이는 단계;상기 크기가 준 나노 입자들을 마스크로 이용하여 상기 홈들이 형성된 제2 도전형 반도체층을 식각하여 상기 홈들 내부에 제2 요철 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 요철 패턴 형성 후 잔류하는 나노 입자들을 제거하는 단계; 및상기 제1 요철 패턴 및 제2 요철 패턴이 형성된 제2 도전형 반도체층 상에 전도층을 형성하는 단계를 포함하는 발광 소자의 제조 방법
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 제1 요철 패턴을 형성하는 단계는,포토리쏘그라피(photolithography) 공정 및 식각 공정을 이용하여 상기 제1 요철 패턴을 형성하는 발광 소자의 제조 방법
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제8항 또는 제9항에 있어서,상기 적어도 하나의 나노 입자들은 금속 클러스터(metal cluster), 실리카 나노파티클(silica nanoparticle), 또는 폴리스티렌 비드(polystyrene bead)인 발광 소자의 제조 방법
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노 입자를 채우는 단계는,스핀 코팅(spin coating) 또는 졸-겔(sol-gel) 방법을 이용하여 나노 입자들을 홈들 내부에 채우는 발광 소자의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 전도층을 형성하는 단계는,상기 제1 요철 패턴 및 제2 요철 패턴이 형성된 제2 도전형 반도체층의 표면과 동일한 프로파일을 갖도록 상기 전도층을 형성하는 발광 소자의 제조 방법
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 홈들 각각의 내부에 적어도 하나의 나노 입자를 채우는 단계는,상기 홈들 각각의 내부에 적어도 하나의 나노 입자를 단일층으로 채우는 발광 소자의 제조 방법
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