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검사용 온도조절장치

  • 기술번호 : KST2015132290
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 검사용 온도조절장치에 관한 것으로, 상부로부터 검사대상물이 놓여지는 상부가 개방된 플레이트, 상기 플레이트 하부에 설치되는 열전소자, 상기 열전소자의 하부에 설치되어 열전소자와 열교환하는 제1 냉매가 순환하는 방열판, 상기 방열판을 순환한 제1 냉매를 유입하여 인접하게 순환하는 제2 냉매와 열교환시킨 후 방열판으로 유출시키는 열교환기, 그리고 상기 열교환기를 순환한 제2 냉매를 유입하여 냉동사이클을 거치게 한 후 상기 열교환기로 유출시키는 냉각기 모듈을 포함한다. 상기와 같이 상부가 개방된 구조를 가지는 검사용 온도조절장치의 플레이트를 사용하여 검사대상물을 실험함으로써 검사장비의 접근이 용이하여 실험시간을 크게 단축시킬 수 있으며, 더불어 다수의 실험장치와의 병행한 사용도 매우 용이하고, 소형이기 때문에 제작 및 이동이 용이한 효과가 있다. 온도조절장치, 열전소자, 반도체 부품 검사
Int. CL G05D 23/19 (2014.01) H01L 21/66 (2014.01) G01R 31/26 (2014.01)
CPC G01R 31/2601(2013.01) G01R 31/2601(2013.01) G01R 31/2601(2013.01) G01R 31/2601(2013.01)
출원번호/일자 1020080002981 (2008.01.10)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0077175 (2009.07.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.10)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진택 대한민국 서울 성북구
2 황성우 대한민국 서울 성북구
3 주병권 대한민국 서울 성북구
4 김재춘 대한민국 서울 성북구
5 이동진 대한민국 서울 성북구
6 유지혁 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍동우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, * 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0021217-16
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.01.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0002793-91
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0400275-70
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0687793-69
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0530501-65
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부로부터 검사대상물이 놓여지는 상부가 개방된 플레이트, 상기 플레이트 하부에 설치되는 열전소자, 상기 열전소자의 하부에 설치되어 열전소자와 열교환하는 제1 냉매가 순환하는 방열판, 상기 방열판을 순환한 제1 냉매를 유입하여 인접하게 순환하는 제2 냉매와 열교환시킨 후 방열판으로 유출시키는 열교환기, 그리고 상기 열교환기를 순환한 제2 냉매를 유입하여 냉동사이클을 거치게 한 후 상기 열교환기로 유출시키는 냉각기 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 온도조절장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 열전소자를 통해서 플레이트의 온도를 낮추는 경우, 상기 냉각기 모듈은 제2 냉매가 상기 열교환기 내에서 제1 냉매로부터 열을 흡수하는 냉동사이클을 수행하는 것을 특징으로 하는 검사용 온도조절장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 열전소자를 통해서 플레이트의 온도를 높이는 경우, 상기 냉각기 모듈은 제2 냉매가 상기 열교환기 내에서 제1 냉매로부터 열을 공급하는 냉동사이클을 수행하는 히트펌프로서 작동하는 것을 특징으로 하는 검사용 온도조절장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 플레이트의 측벽에는 질소가스를 분사하기 위한 질소공급홀이 형성되어 있으며, 상기 질소공급홀은 질소탱크와 연통되는 질소공급관을 통해서 공급되는 것을 특징으로 하는 검사용 온도조절장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 질소공급관에는 질소를 건조시키는 제습필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 온도조절장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.