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용융실리콘을 제조하는 단계;
내벽 입구에서 출구로 이어지는 나선 홈이 구비된 원통형의 나선회전기판 내부에 상기 용융실리콘을 주입하는 단계;
상기 나선 홈을 따라서 상기 입구에서 상기 출구로 상기 용융실리콘이 이동할 수 있도록 상기 나선회전기판을 회전시키는 단계; 및
상기 나선회전기판의 출구 부분을 냉각하여 상기 출구 부분의 나선 홈에 형성된 상기 용융실리콘을 응고시키고, 응고된 용융실리콘을 상기 나선회전기판으로부터 리본 형태로 분리시켜서 실리콘 리본을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 용융실리콘을 제조하는 단계는 실리콘을 액상 형태 완전히 용융시키거나 실리콘 분말을 압착한 박막을 반 용융 시킨 상태로 제조하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 나선회전기판을 회전시키는 단계에서 상기 용융실리콘이 실리콘층 및 불순물층으로 분리가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
실리콘 리본을 제조하는 단계 이후에 상기 실리콘 리본의 표면을 산세처리 하여 불순물을 제거하는 산세처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 용융실리콘의 주입량 및 상기 나선회전기판을 회전시키는 속도를 조절하여 상기 실리콘 리본의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 방법
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원통 내벽의 입구에서 출구로 이어지는 나선 홈이 구비되고, 상기 원통이 회전되면서 상기 입구에 공급된 용융실리콘이 상기 나선 홈을 따라 상기 출구로 배출되도록 하는 회전 장치를 포함하는 나선회전기판;
상기 입구와 연결되어 용융실리콘을 상기 나선회전기판 내에 공급하는 장입 장치;
상기 나선회전기판의 상기 출구 부분을 냉각시키는 냉각 장치; 및
상기 출구로부터 배출되는 리본을 감아서 막대형상으로 변환시키는 리본배출 유도롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 장치
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제 6 항에 있어서,
상기 나선회전기판은 회전축이 중력과 수직한 방향으로 구비되는 수평형, 상기 중력방향으로 상기 출구 기울어진 경사형 및 상기 중력 방향과 평행하게 구비되는 수직형 중 선택된 어느 한 가지 형태의 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 장치
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제 6 항에 있어서,
상기 나선회전기판의 입구 부분 온도는 상기 용융실리콘의 온도보다 10 ~ 20% 더 높게 유지되는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 장치
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제 6 항에 있어서,
상기 나선회전기판 내부의 상기 용융실리콘을 관찰할 수 있는 모니터링 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 장치
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제 6 항에 있어서,
상기 리본배출유도롤러는 상기 나선회전기판의 상기 출구 부분 온도와 동일하게 유지되는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 장치
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제 6 항에 있어서,
상기 실리콘 리본 제조 장치는 리본배출유도롤러를 통하여 나오는 실리콘 리본 표면의 불순물을 제거하기 위한 산세처리 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 리본 제조 장치
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제 1 항에 기재된 실리콘 리본 제조 방법을 이용하여 제조된 것을 특징으로 하는 실리콘 리본
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