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(a) 길게 홈이 파져 있는 베이스 몰드 위에 막을 위치시키고, 상기 막의 상부보다 하부가 압력이 낮도록 압력을 조절하여 상기 홈 부분에서 상기 막이 하부로 변형되도록 하는 단계,(b) 상기 변형된 막 위에 광 민감성 물질을 위치시키고, 상기 광 민감성 물질 위에 광 투과성 물질을 위치시키고 나서, 상기 광 투과성 물질 위로 광을 조사하여 광 민감성 물질 포함 마스터 몰드를 제조하는 단계,(c) 상기 마스터 몰드를 이용하여 반 채널 포함 성형체를 제조하고, 2개의 상기 반 채널 포함 성형체를 결합시키는 단계를 포함하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법으로서;상기 복합 채널은 (i) 1개 이상의 장방형 또는 정방형 단면의 채널, 및 (ii) 1개 이상의 원형 또는 타원형 단면의 채널이 서로 일직선으로 연결되어 있는 채널이고,상기 홈은 길이 방향에 걸쳐 깊이가 서로 다른 부분을 적어도 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 홈은 바닥에 깊이가 깊은 부분에서 깊이가 얕은 부분으로 갈수록 깊이가 얕아져 깊이가 깊은 부분과 깊이가 얕은 부분 사이에 단차 없이 서로 연결된 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 홈은 바닥에 깊이가 깊은 부분과 깊이가 얕은 부분 사이의 단차를 최소한 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 깊이가 얕은 부분의 깊이는 홈의 국부 폭 길이의 1/2 미만이고, 상기 깊이가 깊은 부분의 깊이는 홈의 국부 폭 길이의 1/2 이상인 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 깊이가 얕은 부분의 깊이는 홈의 국부 폭 길이의 1/4 미만이고, 상기 깊이가 깊은 부분의 깊이는 홈의 국부 폭 길이 이상인 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 압력 조절은 상기 막의 하부를 감압시킴으로써 수행됨을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 홈은 폭이 (i) 길이 방향에 걸쳐 일정하거나, 또는 (ii) 길이 방향에 걸쳐 일정한 비율로 좁아지거나 넓어지거나, 또는 (iii) 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 베이스 몰드의 재질은 PDMS,PMMA, 플라스틱, 금속 주조물 중에서 선택되고;상기 막의 재질은 PDMS, 고무, 폴리부타디엔, 폴리이소부틸렌, 폴리우레탄 중에서 선택되며;상기 광 민감성 물질의 재질은 SU-8, AZ 계열 PR, NOA 중에서 선택되고;상기 광 투과성 물질의 재질은 유리, 석영, 플라스틱, 폴리스티렌, 폴리에틸렌 중에서 선택되며;상기 반 채널을 포함하는 성형체의 재질은 PDMS, NOA, PMMA, 아크릴 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 베이스 몰드의 홈은 소프트 리소그라피 공정에 의해 형성하고;상기 2개의 반 채널 포함 성형체의 결합은 산소 플라즈마에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체의 제조방법
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성형체 내부에 존재하는 복합 채널로서, 상기 복합 채널은 (i) 장방형 또는 정방형 단면의 채널, 및 (ii) 원형 또는 타원형 단면의 채널이 서로 일직선으로 연결되어 있는 연결 부분을 적어도 1개 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 채널
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제11항에 있어서, 상기 장방형 또는 정방형 단면의 채널은 상기 연결 부분 이외의 부분에서 지그재그 형태의 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 채널
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제11항에 있어서, (i) 상기 장방형 또는 정방형 단면의 채널의 내부 길이 방향 축과 (ii) 상기 원형 또는 타원형 단면의 채널의 내부 길이 방향의 축이 서로 일직선이 되도록 상기 두 종류의 채널이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 복합 채널
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제11항에 있어서, (i) 상기 장방형 또는 정방형 단면의 채널의 내부 길이 방향 축과 (ii) 상기 원형 또는 타원형 단면의 채널은 각각 독립적으로 (i) 길이 방향에 걸쳐 폭이 일정하거나, 또는 (ii) 길이 방향에 걸쳐 폭이 일정한 비율로 좁아지거나 넓어지거나, 또는 (iii) 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 복합 채널
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(i) 장방형 또는 정방형 단면의 채널, 및 (ii) 원형 또는 타원형 단면의 채널이 서로 일직선으로 연결되어 있는 연결 부분을 1개 이상 포함하는 복합 채널을 적어도 1개 포함하는 복합 채널 포함 성형체
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제15항에 있어서, 상기 장방형 또는 정방형 단면의 채널은 상기 연결 부분 이외의 부분에서 지그재그 형태 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체
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제15항에 있어서, (i) 상기 장방형 또는 정방형 단면의 채널의 내부 길이 방향 축과 (ii) 상기 원형 또는 타원형 단면의 채널의 내부 길이 방향의 축이 서로 일직선이 되도록 상기 두 종류의 채널이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체
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제15항에 있어서, (i) 상기 장방형 또는 정방형 단면의 채널의 내부 길이 방향 축과 (ii) 상기 원형 또는 타원형 단면의 채널은 각각 독립적으로 (i) 길이 방향에 걸쳐 폭이 일정하거나, 또는 (ii) 길이 방향에 걸쳐 폭이 일정한 비율로 좁아지거나 넓어지거나, 또는 (iii) 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 복합 채널 포함 성형체
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(A) 2개 이상의 샘플 투입 채널, (B) 상기 2개 이상의 샘플 투입 채널의 끝 말단으로부터 동일한 흐름 거리에 시작 말단을 가지고 있는 복수 개의 장방형 또는 정방형 샘플 혼합용 채널,(C) 상기 샘플 혼합용 채널의 끝 말단으로부터 동일한 흐름 거리에 시작 말단을 두고 있는 복수 개의 복합 채널을 포함하는 샘플 불균일 미세 혼합기로서;상기 샘플 투입 채널의 끝 말단과 상기 샘플 혼합용 채널의 시작 말단은 연결 채널에 의해 연결되어 있고;상기 샘플 혼합용 채널 중 적어도 일부는 흐름 방향에 걸쳐 적어도 부분적으로 지그재그 형태의 채널 부분을 포함하고 있으며;상기 복합 채널은 (i) 장방형 또는 정방형 단면의 채널, 및 (ii) 원형 또는 타원형 단면의 채널이 서로 일직선으로 연결되어 있는 연결 부분을 적어도 1개 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플 불균일 미세 혼합기
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제20항에 있어서, 상기 샘플 불균일 미세 혼합기는 상기 복수 개의 샘플 혼합용 채널의 끝 말단과 상기 복수 개의 복합 채널의 시작 말단 사이에 (B-1) 상기 복수 개의 샘플 혼합용 채널의 끝 말단으로부터 동일한 흐름 거리에 시작 말단을 가지고 있는 복수 개의 장방형 또는 정방형 샘플 혼합용 추가 채널을 추가로 1열 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플 불균일 미세 혼합기
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제21항에 있어서, 상기 샘플 불균일 미세 혼합기는 상기 샘플 혼합용 추가 채널의 끝 말단과 상기 복수 개의 복합 채널의 시작 말단 사이에 (B-2) 상기 복수 개의 샘플 혼합용 추가 채널의 끝 말단으로부터 동일한 흐름 거리에 시작 말단을 가지고 있는 복수 개의 장방형 또는 정방형 샘플 혼합용 추가 채널을 최소한 1열 이상 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플 불균일 미세 혼합기
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제20항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 (ii) 원형 또는 타원형 단면의 채널은 (a) 주 채널, (b) 샘플 채널, 및 (c) 1개 이상의 외곽부 채널을 포함하는 (ii'') 실린더 동축 채널이고;상기 (i) 장방형 또는 정방형 단면의 채널의 끝 말단과 상기 (b) 샘플 채널의 시작 말단이 연결됨으로써 상기 (i) 장방형 또는 정방형 단면의 채널과 (ii'') 실린더 동축 채널이 연결되며;상기 주 채널, 샘플 채널 및 1개 이상의 외곽부 채널 중 적어도 하나는 단면이 원형 또는 타원형인 실린더 채널이며; 상기 샘플 채널의 끝 말단이 상기 주 채널의 시작 말단과 연결되어 있고; 상기 1개 이상의 외곽부 채널은 주 채널의 측면에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 샘플 불균일 미세 혼합기
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