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일체화된 모션 증폭 및 안내 기구를 이용한 초정밀 선형 스테이지에 있어서,제1 방향으로 선형 이동 가능한 출력 플레이트와;상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 출력 플레이트와 교차하도록 배치되어 전원의 인가 여부에 따라 상기 제2 방향으로 변위를 발생하는 변위 발생 소자와;상기 출력 플레이트의 상기 제2 방향 양측에 상기 제1 방향을 중심으로 대칭적으로 설치되어 상기 출력 플레이트가 상기 제1 방향으로 선형 이동하도록 상기 변위 발생 소자의 상기 제2 방향으로의 변위를 상기 출력 플레이트로 증폭하여 전달하는 한 쌍의 변위 증폭 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제1항에 있어서,상기 출력 플레이트의 상기 제1 방향으로의 양측에 각각 배치되는 제1 고정 플레이트와 제2 고정 플레이트를 더 포함하며;상기 변위 증폭 유닛은,상기 출력 플레이트로부터 소정 간격 이격된 상태로 배치되어 상기 변위 발생 소자의 변위에 따라 상기 제2 방향으로 이동하는 중간 플레이트와,상기 중간 플레이트의 이동이 상기 제1 고정 플레이트의 상기 출력 플레이트에 대한 상기 제1 방향으로의 추력으로 전환되도록 상기 중간 플레이트의 일측 가장자리 영역을 상기 제1 고정 플레이트와 상기 출력 플레이트에 연결하는 푸시 타입 링크부와,상기 중간 플레이트의 이동이 상기 제2 고정 플레이트의 상기 출력 플레이트에 대한 상기 제1 방향으로의 인력으로 전환되도록 상기 중간 플레이트의 타측 가장자리 영역을 상기 제2 고정 플레이트와 상기 출력 플레이트에 연결하는 풀 타입 링크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제2항에 있어서,상기 푸시 타입 링크부는,상기 중간 플레이트와 상기 제1 고정 플레이트를 연결하는 제1 푸시 링크 유닛과,상기 중간 플레이트와 상기 출력 플레이트를 연결하는 제2 푸시 링크 유닛을 포함하며;상기 제1 푸시 링크 유닛 및 상기 제2 푸시 링크 유닛과 상기 중간 플레이트의 연결점 간의 거리는 상기 제1 푸시 링크 유닛 및 상기 제2 푸시 링크 유닛과 상기 제1 고정 플레이트 및 상기 출력 플레이트 각각의 연결점 간의 거리보다 길게 마련되는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제3항에 있어서,상기 제1 푸시 링크 유닛은,제1 푸시 링크 본체와,상기 제1 푸시 링크 본체를 상기 중간 플레이트 및 상기 제1 고정 플레이트에 각각 연결하는 한 쌍의 제1 푸시 탄성 힌지를 포함하며;상기 제2 푸시 링크 유닛은,제2 푸시 링크 본체와,상기 제2 푸시 링크 본체를 상기 중간 플레이트 및 상기 출력 플레이트에 각각 연결하는 한 쌍의 제2 푸시 탄성 힌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제2항에 있어서,상기 풀 타입 링크부는,상기 중간 플레이트와 상기 제2 고정 플레이트를 연결하는 제1 풀 링크 유닛과,상기 중간 플레이트와 상기 출력 플레이트를 연결하는 제2 풀 링크 유닛을 포함하며;상기 제1 풀 링크 유닛 및 상기 제2 풀 링크 유닛과 상기 중간 플레이트의 연결점 간의 거리는 상기 제1 풀 링크 유닛 및 상기 제2 풀 링크 유닛과 상기 제2 고정 플레이트 및 상기 출력 플레이트 각각의 연결점 간의 거리보다 짧게 마련되는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제5항에 있어서,상기 제1 풀 링크 유닛은,제1 풀 링크 본체와,상기 제1 풀 링크 본체를 상기 중간 플레이트 및 상기 제2 고정 플레이트에 각각 연결하는 한 쌍의 제1 풀 탄성 힌지를 포함하며;상기 제2 풀 링크 유닛은,제2 풀 링크 본체와,상기 제2 풀 링크 본체를 상기 중간 플레이트 및 상기 출력 플레이트에 각각 연결하는 한 쌍의 제2 풀 탄성 힌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제4항 또는 제6항에 있어서,상기 제1 푸시 탄성 힌지, 상기 제2 푸시 탄성 힌지, 상기 제1 풀 탄성 힌지 및 상기 제2 풀 탄성 힌지 중 적어도 하나는 판 스프링 형태 또는 노치 힌지 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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제4항 또는 제6항에 있어서,상기 출력 플레이트에는 상기 변위 발생 소자가 교차되어 설치 가능하도록 상기 변위 발생 소자가 통과하는 통과부가 형성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 선형 스테이지
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