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에어로졸 입자 공급장치 및 이를 이용한 에어로졸 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015132641
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 에어로졸 입자 공급장치 및 이를 이용한 에어로졸 증착 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 에어로졸 입자 공급 장치는 작동 유체가 유입되는 유입구와 에어로졸 입자가 배출되는 배출구를 가지며, 내부에 수용 공간이 형성된 에어로졸 챔버와; 상기 수용공간이 상기 유입구 측의 유입 공간과 상기 배출구 측의 유동 공간으로 구획되도록 상기 에어로졸 챔버 내부에 설치되며, 상기 유동 공간에 수용된 미세 분말이 부유되어 상기 배출구를 통해 에어로졸 입자로 배출되도록 상기 유입구를 통해 유입되는 작동 유체를 상기 유동 공간으로 확산시키는 다공성 확산 부재와; 상기 유동 공간과 연통되도록 상기 에어로졸 챔버와 연결되어 상기 유동 공간 내부로 미세 분말을 공급하는 미세 분말 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 미세 분말 공급부를 통해 에어로졸 챔버로 미세 분말이 공급되도록 하여, 에어로졸 챔버에 초기에 수용되는 미세 분말의 양을 조절하거나 에어로졸 증착 장치의 작동 중에도 미세 분말을 추가로 에어로졸 챔버에 공급 가능하도록 하여 박막의 두께 조절을 가능하게 된다.
Int. CL B05D 1/22 (2006.01) C23C 24/04 (2006.01)
CPC C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01)
출원번호/일자 1020100116245 (2010.11.22)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1209349-0000 (2012.11.30)
공개번호/일자 10-2012-0054880 (2012.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20121206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정재 대한민국 서울특별시 성북구
2 김도연 대한민국 서울특별시 영등포구
3 윤석구 미국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인남촌 대한민국 서울특별시 종로구 새문안로*길 **, 도렴빌딩 ***호 (도렴동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0761321-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0020137-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0428384-86
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0750839-21
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0750838-86
7 등록결정서
Decision to grant
2012.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0723533-80
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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에어로졸 입자 공급장치에 있어서,작동 유체가 유입되는 유입구와 에어로졸 입자가 배출되는 배출구를 가지며, 내부에 수용 공간이 형성된 에어로졸 챔버와;상기 수용공간이 상기 유입구 측의 유입 공간과 상기 배출구 측의 유동 공간으로 구획되도록 상기 에어로졸 챔버 내부에 설치되며, 상기 유동 공간에 수용된 미세 분말이 부유되어 상기 배출구를 통해 에어로졸 입자로 배출되도록 상기 유입구를 통해 유입되는 작동 유체를 상기 유동 공간으로 확산시키는 다공성 확산 부재와;상기 유동 공간과 연통되도록 상기 에어로졸 챔버와 연결되어 상기 유동 공간 내부로 미세 분말을 공급하는 미세 분말 공급부를 포함하며,상기 미세 분말 공급부는,미세 분말이 수용되는 미세 분말 수용부와;상기 미세 분말 수용부와 상기 에어로졸 챔버의 상기 유동 공간이 연통되도록 상기 미세 분말 수용부와 상기 에어로졸 챔버를 연결하는 미세 분말 공급 라인과;상기 미세 분말 수용부에 수용된 미세 분말이 상기 미세 분말 공급 라인을 통해 상기 에어로졸 챔버의 상기 유동 공간에 공급되도록 상기 미세 분말 수용부에 보충 유체를 공급하는 보충 유체 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 입자 공급장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 미세 분말 공급부는 상기 미세 분말 공급 라인을 통해 상기 미세 분말 수용부로부터 상기 에어로졸 챔버로 공급되는 미세 분말을 단속하는 단속 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 입자 공급장치
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제3항에 있어서,상기 에어로졸 챔버는,상기 유입구가 형성된 깔때기 형상의 제1 케이스와,일측이 상기 제1 케이스와 연통되도록 상기 제1 케이스와 결합하는 원통 형상의 제2 케이스와,상기 배출구가 형성되고, 상기 제2 케이스의 타측을 차폐하는 케이스 헤드를 포함하며;상기 다공성 확산 부재는 상기 제1 케이스의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 에어로졸 입자 공급장치
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제4항에 있어서,상기 다공성 확산 부재는 내부에 다공성의 오픈 셀이 형성된 스펀지 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 에어로졸 입자 공급장치
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에어로졸 증착 장치에 있어서,증착 대상물이 수용되는 증착 챔버와;상기 증착 대상물을 향해 에어로졸 입자를 분사하는 노즐과;에어로졸 입자가 상기 노즐을 통해 분사되도록 상기 노즐에 에어로졸 입자를 공급하는 제1항 또는 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 에어로졸 입자 공급장치와;상기 에어로졸 입자 공급장치에 작동 유체를 공급하기 위한 작동 유체 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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