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챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 도선 전극을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 에어로졸를 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 금속 파우더 에어로졸를 공급하는 금속 파우더 공급부를 구비하는 금속 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 도선 전극의 형성을 위하여 상기 노즐로부터 분사된 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿부; 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 상기 도선 전극에 국부적 열에너지를 공급하는 도선 열에너지 제공부;를 구비하고,상기 슬릿부는:상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 가동 가능하게 배치되는 슬릿부 베이스와,상기 슬릿부 베이스 상에 가동 가능하게 배치되어 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿을 형성하는 슬릿부 플레이트와,상기 슬릿부 플레이트의 배치 위치를 조정하기 위한 슬릿부 구동 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 도선 열에너지 제공부는 레이저 조사 유니트인 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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제 2항에 있어서,상기 레이저 조사 유니트의 레이저 조사각은 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 도선 전극의 형성 방향에 대하여 예각을 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 슬릿부 플레이트는 상기 슬릿부 베이스에 가동 가능하게 배치되는 슬릿부 플레이트 지지부를 구비하고, 서로 이격 배치되는 한 쌍의 플레이트로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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제 5항에 있어서, 상기 슬릿부 구동 유니트는, 상기 슬릿부 플레이트를 가동시키는 플레이트 구동부를 구비하고,상기 플레이트 구동부는:상기 슬릿부 플레이트 사이에 배치되어 초기 탄성력을 제공하는 플레이트 탄성 지지부와,상기 슬릿부 베이스 상에 배치되고 상기 슬릿부 플레이트의 가동력을 제공하는 플레이트 구동기와,상기 플레이트 구동기로부터 생성된 가동력을 상기 슬릿부 플레이트 지지부에 전달하여 상기 슬릿부 플레이트의 슬릿을 조정하는 플레이트 구동 와이어를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 슬릿부 구동 유니트는, 상기 슬릿부 베이스의 외주와 치합되는 베이스 구동기를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 챔버와 연결되어 상기 도선 전극을 형성한 금속 파우더 이외의 금속 파우더를 재취합시키는 리사이클부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치
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