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1
(1-x)Pb(Zr(1-y)Tiy)O3-xPb(Ni1/3Nb2/3)O3의 화학식을 가지며, 상기 x는 0
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2 |
2
제1항에 있어서,ZnO 및 CuO 중 선택되는 하나 이상의 첨가제를 포함하는 압전 엑츄에이터용 세라믹 조성물
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3 |
3
제2항에 있어서,상기 첨가제는 0
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4 |
4
(1-x)Pb(Zr(1-y)Tiy)O3-xPb(Ni1/3Nb2/3)O3의 조성을 가지며, 상기 x는 0
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5
제4항에 있어서,상기 원료 파우더는 PbO, ZrO, TiO2, NiO 및 Nb2O5 인 압전 엑츄에이터용 세라믹 조성물의 제조방법
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6 |
6
제4항에 있어서,상기 압전 세라믹 분말의 제조 단계 이후에 ZnO 및 CuO 중 선택되는 하나 이상의 첨가제를 혼합하는 단계를 추가로 포함하는 압전 엑츄에이터용 세라믹 조성물의 제조방법
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7 |
7
제6항에 있어서,상기 첨가제는 0
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8 |
8
(1-x)Pb(Zr(1-y)Tiy)O3-xPb(Ni1/3Nb2/3)O3의 조성을 가지며, 상기 x는 0
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9
제8항에 있어서,상기 압전층은 ZnO 및 CuO 중 선택되는 하나 이상의 첨가제를 포함하는 압전 엑츄에이터
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10
제8항에 있어서,상기 전극층은 은, 구리 및 알루미늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 금속을 포함하는 압전 엑츄에이터
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11
(1-x)Pb(Zr(1-y)Tiy)O3-xPb(Ni1/3Nb2/3)O3의 조성을 가지며, 상기 x는 0
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12
제11항에 있어서,상기 원료 파우더는 PbO, ZrO, TiO2, NiO 및 Nb2O5 인 압전 엑츄에이터의 제조방법
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13
제11항에 있어서,상기 세라믹 조성물은 ZnO 및 CuO 중 선택되는 하나 이상의 첨가제가 혼합된 압전 엑츄에이터의 제조방법
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14
제11항에 있어서,상기 전극층은 은, 구리 및 알루미늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 금속으로 형성되는 압전 엑츄에이터의 제조방법
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