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챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지;상기 태양전지 기판 상에 태양전지층을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 무기물 파우더를 포함하는 무기물 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 무기물 파우더 에어로졸을 공급하는 무기물 파우더 공급부를 구비하는 무기물 파우더 공급 유니트;를 구비하고,상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 전압을 인가하는 전압 공급부; 및상기 무기물 파우더 공급부에 무기물 파우더 에어로졸 공급 제어 신호를 그리고 상기 전압 공급부에 전압 공급 제어 신호를 인가하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 노즐은 복수 개의 무기물 파우더 에어로졸을 개별적으로 초음속 유동으로 토출하는 멀티 노즐인 것을 특징으로 하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치
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제 3항에 있어서, 상기 무기물 파우더는, Cu, In, Ga, Se, Cd, Te, S, Mo, ZnO 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치
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제 3항에 있어서, 상기 멀티 노즐의 개별 노즐 토출구는 상기 태양전지 기판에 대하여 사전 설정된 토출각을 구비하는 것을 특징으로 하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치
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제 3항에 있어서,상기 멀티 노즐은 상기 노즐 토출구를 개별적으로 가동시키는 노즐 토출구 액츄에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 챔버와 연결되어 상기 태양전지층을 형성한 무기물 파우더 이외의 무기물 파우더를 재취합시키는 리사이클부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치
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