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고정 자성층, 제 1 비자성층, 자유 자성층, 제 2 비자성층, 감지 자성층, 반강자성층을 포함하는 구조이며,상기 자유 자성층은 연자성의 제 1 물질을 포함하는 제 1 박막 및 음의 자기이방성 상수(K)를 갖는 제 2 물질을 포함하는 제 2 박막을 포함하며, 상기 고정 자성층은 박막의 수직방향의 자화 특성을 가지며, 그리고상기 감지 자성층은 박막의 수평방향의 자화 특성을 가지며, 상기 자유 자성층은 연속적으로 회전하는 방향의 자화 특성을 가지며,상기 제 2 박막은 제 1 박막 내에 삽입된 구조를 가지거나 또는 상기 제 2 박막이 제 1 박막의 일 측면 또는 양측면 상에 적층된 구조를 가지며,상기 제 2 물질은 이중 hcp 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성 소자
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고정 자성층, 비자성층, 자유 자성층을 포함하는 구조이며,상기 자유 자성층은 연자성의 제 1 물질을 포함하는 제 1 박막, 및 음의 자기이방성 상수(K)를 갖는 제 2 물질을 포함하는 제 2 박막을 포함하며, 상기 고정 자성층은 박막에 대하여 수직방향의 자화 특성을 가지며, 그리고상기 감지 자성층은 박막의 수평방향의 자화 특성을 상기 자유 자성층은 연속적으로 회전하는 방향의 자화 특성을 가지며,상기 제 2 박막은 제 1 박막 내에 삽입된 구조를 가지거나 또는 상기 제 2 박막이 제 1 박막의 일 측면 또는 양측면 상에 적층된 구조를 가지며,상기 제 2 물질은 이중 hcp 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성 소자
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제 1 고정 자성층, 자유 자성층, 제 2 고정 자성층을 포함하는 구조이며,상기 자유 자성층은 연자성의 제 1 물질을 포함하는 제 1 박막 및 음의 자기이방성 상수(K)를 갖는 제 2 물질을 포함하는 제 2 박막을 포함하며, 제 1 고정 자성층은 박막의 수직방향의 자화 특성을 가지며, 그리고제 2 고정 자성층은 박막의 수직방향의 자화 특성을 가지며,상기 자유 자성층은 연속적으로 회전하는 방향의 자화 특성을 가지며,상기 제 2 박막은 제 1 박막 내에 삽입된 구조를 가지거나 또는 상기 제 2 박막이 제 1 박막의 일 측면 또는 양측면 상에 적층된 구조를 가지며,상기 제 2 물질은 이중 hcp 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성소자
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제 1항에 있어서,상기 고정 자성층은 X층 및 Y층으로 이루어진 2중층이 n개 적층되어 이루어진 다층박막(n≥1)이며, 여기에서 X 및 Y는 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr, Pt, Pd 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나로 이루어진 박막인 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 고정 자성층은 X층 및 Y층으로 이루어진 2중층이 n개 적층되어 이루어진 다층박막(n≥1)이며, 여기에서 X 및 Y는 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr, Pt, Pd 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나로 이루어진 박막인 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성소자
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제 1항에 있어서,상기 감지 자성층은 제 1 자성층, 비자성층, 제 2 자성층을 포함하고, 제 1 자성층과 제 2 자성층은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지고, 상기 감지 자성층의 비자성층은 Ru, Cu, Al, Ta, Au, Ag 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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7
제 1항에 있어서,제 1 물질은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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8
제 2항 또는 제 3항에 있어서,제 1 물질은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성소자
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9
제 1항에 있어서,제 2 물질은 이중 hcp 구조를 갖는 CoFe, α-FeC, MnSb, CoIr 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성 소자
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10
제 2항 또는 제 3항에 있어서,제 2 물질은 이중 hcp 구조를 갖는 CoFe, α-FeC, MnSb, CoIr 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성 소자
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11
제 1항에 있어서,상기 반강자성층은 Ir, Pt, Mn 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성 소자
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12
제 3항에 있어서,제 1 고정 자성층의 자기이방성자계 Hk1는 제 2 고정자성층의 자기이방성자계 Hk2와 상이한 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성 소자
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13
제 1 항에 있어서,고주파 마이크로 웨이브 생성 소자의 면내 모양은 원형인 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성 소자
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14
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 고주파 자기장 생성 소자의 면내 모양은 원형인 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성 소자
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15
제 1 항에 있어서,제 1 비자성층과 제 2 비자성층은 Ru, Cu, Al, Ta, Au, Ag, AlOx, MgO, TaOx, ZrOx 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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16
제 15항에 있어서, 제 1 비자성층과 제 2 비자성층은 서로 상이한 물질인 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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17 |
17
제 1항에 있어서,상기 자유 자성층은 제 2 박막이 제 1 박막 내에 삽입된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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18
제 1항에 있어서,상기 자유 자성층은 제 2 박막이 제 1 박막의 일 측면 또는 양 측면 상에 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 마이크로 웨이브 생성소자
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19
제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 자유 자성층은 제 2 박막이 제 1 박막 내에 삽입된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성소자
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 자유 자성층은 제 2 박막이 제 1 박막의 일 측면 또는 양 측면 상에 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파 자기장 생성소자
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