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n타입으로 도핑된 제 1 질화물 반도체 층;상기 제 1 질화물 반도체 층 위에 형성되고, p타입으로 도핑된 제 1 클래딩층;상기 제 1 클래딩층 위에 형성된 활성층;상기 활성층 위에 형성되고, p타입으로 도핑된 제 2 클래딩층; 및 상기 제 2 클래딩층 위에 형성되고, p타입으로 도핑된 제 2 질화물 반도체층; 을 포함하고,상기 활성층은, 양자 우물층 및 양자 장벽층을 서로 교차하며 복수층으로 형성하는 구조를 포함하고, 상기 양자 장벽층은 p타입으로 도핑되는 것을 특징으로 하는 고효율 무분극 질화갈륨계 발광 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 클래딩층, 상기 제 2 클래딩층, 및 상기 양자 장벽층은 Mg로 도핑된 것을 특징으로 하는 고효율 무분극 질화갈륨계 발광 소자
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제 5 항에 있어서, 상기 Mg는, 1×1017 내지 1×1018cm-3의 농도로 도핑되는 것을 특징으로 하는 고효율 무분극 질화갈륨계 발광 소자
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(a) n타입으로 도핑된 제 1 질화물 반도체층 위에, p타입으로 도핑된 제 1 클래딩층을 형성하는 단계;(b) 상기 제 1 클래딩층 위에 활성층을 형성하는 단계;(c) 상기 활성층위에 p타입으로 도핑된 제 2 클래딩층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 제 2 클래딩층 위에 p타입으로 도핑된 제 2 질화물 반도체 층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 (b) 단계에서는,(b-1) 상기 제 1 클래딩층 위에 양자 우물층을 형성하는 단계,(b-2) 상기 양자 우물층 위에 p타입으로 도핑된 양자 장벽층을 형성하고, 상기 양자 장벽층 위에 상기 양자 우물층을 형성하는 단계, 및(b-3) 상기 (b-2) 단계를 복수로 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고효율 무분극 질화갈륨계 발광 소자의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 클래딩층, 상기 제 2 클래딩층, 및 상기 양자 장벽층은 Mg로 도핑되는 것을 특징으로 하는 고효율 무분극 질화갈륨계 발광 소자의 제조 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 Mg는, 1×1017 내지 1×1018cm-3의 농도로 도핑되는 것을 특징으로 하는 고효율 무분극 질화갈륨계 발광 소자의 제조 방법
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