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원자층 박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015133016
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자층 박막 증착 장치에 관한 것으로, 소스 가스를 생성할 수 있는 복수 개의 가스 라인 커넥터 모듈과 퍼지 가스를 공급하는 하나의 퍼지 가스 탱크를 이용하여 소스 가스 및 퍼지 가스를 교대로 공급할 수 있도록 함으로써, 소스 가스 공급을 위한 별도의 전달 가스 관련 구성이 불필요하여 전체 구성을 단순화 소형화할 수 있고, 이에 따라 제조 설치가 용이하고 비용이 절감되며 유지 관리가 용이하고, 또한 동일한 형태의 복수 개 가스 라인 커넥터 모듈을 서로 직렬 또는 병렬 연결하여 사용할 수 있어 설치 작업이 매우 용이하고, 특정 소스 가스를 추가 공급하거나 제거하고자 하는 경우, 전체 설비에 대한 변경 없이 단순히 가스 라인 커넥터 모듈을 추가 연결하거나 제거하는 방식으로 용이하게 설치 변경할 수 있는 원자층 박막 증착 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01)
출원번호/일자 1020120028399 (2012.03.20)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1366385-0000 (2014.02.17)
공개번호/일자 10-2013-0106674 (2013.09.30) 문서열기
공고번호/일자 (20140225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심준형 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍동우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, * 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0225875-95
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0249390-96
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0519653-63
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0629459-14
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0728037-05
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0836084-96
7 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2013.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0111957-73
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0924533-82
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0924534-27
10 등록결정서
Decision to grant
2014.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0091867-91
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응 챔버의 내부에 소스 가스 및 퍼지 가스를 공급하며 기판 표면에 원자층 박막을 증착시키는 원자층 박막 증착 장치에 있어서,각각의 소스 가스를 공급할 수 있는 복수 개의 가스 라인 커넥터 모듈이 상기 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 탱크 및 상기 반응 챔버에 연결되고, 상기 가스 라인 커넥터 모듈은:양단부에 유입구 및 유출구가 형성되고, 상기 퍼지 가스 탱크로부터 공급되는 퍼지 가스가 상기 유입구 및 유출구를 통해 상기 반응 챔버를 향해 유동하는 메인 유동 파이프; 일단이 상기 메인 유동 파이프의 중단부에 연통되게 배치되는 유출입 파이프; 상기 유출입 파이프의 타단에 연통되게 결합되어 상기 소스 가스를 생성하는 소스 가스 탱크; 및 상기 유출입 파이프의 중단부에 장착되는 개폐 밸브를 포함하고, 상기 개폐 밸브의 작동에 따라 상기 소스 가스 탱크에 생성된 소스 가스가 상기 유출입 파이프를 통해 상기 메인 유동 파이프로 유입되어 상기 퍼지 가스와 함께 상기 반응 챔버로 공급되고,상기 메인 유동 파이프는: 상기 유출입 파이프와 연결되는 부위에서 압력 강하 현상이 일어날 수 있도록 내주면에 교축 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 원자층 박막 증착 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,복수 개의 상기 가스 라인 커넥터 모듈은 각각의 상기 메인 유동 파이프가 순차적으로 연결되도록 직렬 연결되는 것을 특징으로 하는 원자층 박막 증착 장치
4 4
제 1 항에 있어서,복수 개의 상기 가스 라인 커넥터 모듈은 각각의 상기 메인 유동 파이프가 각각 분리되어 상기 퍼지 가스 탱크에 연결되도록 병렬 연결되는 것을 특징으로 하는 원자층 박막 증착 장치
5 5
제 1 항, 제 3항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개폐 밸브의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 개폐 밸브가 사전 설정 시간 동안 개방된 후 폐쇄되도록 제어하고, 복수 개의 상기 가스 라인 커넥터 모듈에 대한 개폐 밸브가 각각 사전 설정 시간 간격을 두고 하나씩 개방되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 원자층 박막 증착 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 소스 가스 탱크에는 내부 압력을 측정할 수 있는 압력 센서가 장착되고,상기 제어부는 상기 압력 센서에 의해 측정된 압력값에 따라 상기 개폐 밸브의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 원자층 박막 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.