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내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판을 이용한 갈륨 질화물층을 포함하는 LED 및 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015133034
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반사막을 포함하는 패턴사파이어 기판을 이용한 발광소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 발광다이오드의 광출력의 향상을 위해 내부 반사판을 포함하는 패턴 사파이어 기판 (PSS)를 이용한 발광소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 사파이어 기판 내부의 반사막은 사파이어 표면의 요철의 광산란점에서 하단으로 산란된 빛을 다시 반사시켜 상부로 보내는 역할을 하므로 발광소자의 상단으로 방출되는 빛의 양과 효율을 증가시킬 수 있다. 또한 반사막에 의한 자동적인 사파이어 패턴 형성으로 공정의 효율을 높일 수 있다.
Int. CL H01L 33/20 (2014.01) H01L 33/10 (2014.01) H01L 33/22 (2014.01)
CPC H01L 33/10(2013.01) H01L 33/10(2013.01) H01L 33/10(2013.01) H01L 33/10(2013.01)
출원번호/일자 1020120006324 (2012.01.19)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1310773-0000 (2013.09.13)
공개번호/일자 10-2013-0085278 (2013.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20130925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성태연 대한민국 서울 서초구
2 염웅선 대한민국 인천 계양구
3 전준우 대한민국 서울 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이지 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, KCC웰츠밸리) ***-***

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0052475-22
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0719175-98
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0082245-10
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0178706-30
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0266777-58
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0266772-20
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0577417-90
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ag, Rh, 및 Al의 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 이루어진 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판을 이용한 갈륨 질화물층을 포함하는 LED
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 내부 반사막은 사파이어 기판의 외부에서 입사된 광선 방향에 대하여 수직인 면을 갖는 것을 특징으로 하는 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판을 이용한 갈륨 질화물층을 포함하는 LED
4 4
제1항에 있어서, 상기 내부 반사막은 사파이어 기판의 외부에서 입사된 광선이 투과할 수 있는 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판을 이용한 갈륨 질화물층을 포함하는 LED
5 5
제1항에 있어서, 상기 내부 반사막은 사파이어 기판의 전체 평면적 대비 1~75%의 표면적을 갖는 것을 특징으로 하는 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판을 이용한 갈륨 질화물층을 포함하는 LED
6 6
제1항에 있어서, 상기 내부 반사막의 두께는 10nm ~ 200nm인 것을 특징으로 하는 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판을 이용한 갈륨 질화물층을 포함하는 LED
7 7
사파이어 기판에 Ag, Rh, 및 Al의 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 이루어진 반사막을 적층하는 단계; 상기 적층된 반사막의 일부를 에칭하여 패턴을 형성하는 단계; 상기 에칭 후 남은 반사막 표면 및 사파이어 기판 상에 알루미늄층을 적층하는 단계; 및 상기 알루미늄층을 산화시켜 그 표면에 산화알루미늄(Al2O3)막을 형성시키는 단계; 상기 산화된 알루미늄층을 AGOG를 통해 사파이어로 전환시키는 단계;를 포함하는 내부 반사막을 갖는 패턴사파이어 기판의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.