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일련의 인접하여 연결된 상부 표면(top surface)을 정의하도록 그 일부로부터 연장된 적어도 하나의 벽을 포함하는 기판; 및실질적으로 상기 상부 표면 위에 배열된 전도층(conduction layer)을 포함하며,상기 전도층은 상기 적어도 하나의 벽의 최외각부(outermost portion)상에 에칭된 부분(etched portion)을 가지는, 발열체(heating element)
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제1항에 있어서,상기 전도층은 적어도 하나의 그라핀 시트(graphene sheet)를 포함하는, 발열체
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제1항에 있어서,상기 전도층은 적어도 하나의 CNT 필름을 포함하는, 발열체
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제1항에 있어서,실질적으로 상기 전도층 위에 배열되는 보호층(protection layer)을 더 포함하는 발열체
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제4항에 있어서,상기 보호층은 금속 재료, 금속 화합물, 또는 절연 재료 중 적어도 하나를 포함하는, 발열체
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제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 벽은 상기 기판에 실질적으로 수직으로 배치되는, 발열체
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제1항에 있어서,실질적으로 상기 상부 표면 및 상기 전도층 사이에 배열되는 절연층을 더 포함하는 발열체
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제7항에 있어서,페닐기로 끝나는 실란(phenyl-terminated silane)이 상기 절연층의 적어도 일부에 더 가해지는, 발열체
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제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 벽은 수백 나노미터의 범위로 측정되는 높이 및 폭을 가지는, 발열체
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기판의 일부로부터 연장되고 일련의 인접하게 연결된 상부 표면을 정의하도록 상기 기판 위에 적어도 하나의 벽을 형성하는 단계;전도성 재료로 상기 상부 표면을 코팅하는 단계; 및에칭에 의해 화학적으로 영향 받는 상기 전도성 재료의 에칭된 부분으로부터 만들어지는 에칭된 발열체부를 형성하도록 상기 전도성 재료의 적어도 일부를 에칭하는 단계를 포함하고,상기 에칭된 발열체부는 상기 에칭된 발열체부 각각의 저항보다 낮은 저항을 가지는 적어도 하나의 에칭되지 않은 부분에 분산되는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서, 상기 에칭하는 단계는 상기 적어도 하나의 벽의 최외각부 위에서 수행되는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서, 상기 코팅하는 단계는 상기 상부 표면 위에 적어도 하나의 CNT 필름을 배열하는 단계를 포함하는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서,상기 코팅하는 단계는 상기 상부 표면 위에 적어도 하나의 그라핀 시트를 배열하는 단계를 포함하는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서,거기에 가해진 코팅을 가지는 상기 상부 표면에 보호층을 가하는 단계를 더 포함하는 발열체를 제조하는 방법
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제14항에 있어서,상기 보호층은, 스퍼터링(sputtering) 및 증착(vapor deposition) 방법 중 하나에 의하여, 거기에 가해진 코팅을 가지는 상기 상부 표면에 가해지는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서,상기 적어도 하나의 벽은 에칭 기술을 이용하여 제조되는, 발열체를 제조하는 방법
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제16항에 있어서,상기 형성하는 단계는,상기 기판 위에 에치 마스크 층(etch mask layer)을 배열하는 단계;상기 에치 마스크 층 위에 포토레지스트 층(photoresist layer)을 배열하는 단계;상기 포토레지스트 층 위에 리소그래피 패턴(lithography pattern)을 형성하는 단계;상기 리소그래피 패턴을 둘러싸는 상기 포토레지스트 층의 일부를 에칭하는 단계;상기 에치 마스크 층의 적어도 일부를 에칭하는 단계;상기 포토레지스트 층으로부터 상기 리소그래피 패턴을 제거하는 단계;상기 기판의 적어도 일부를 에칭하는 단계; 및상기 기판으로부터 상기 에치 마스크 층을 제거하는 단계를 포함하는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서,상기 형성하는 단계는 액화 기술(liquefaction technique)을 포함하는, 발열체를 제조하는 방법
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제10항에 있어서,상기 에칭하는 단계는 플라즈마 에칭(plasma etching)에 의하여 수행되는, 발열체를 제조하는 방법
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제16항에 있어서,상기 형성하는 단계는,상기 기판 위에 나노구조물(nanostructure)을 위치시키는 단계;상기 나노구조물 위에 플레이트(plate)를 배치하는 단계;상기 나노구조물을 에칭 및 액화하는 단계; 및냉각 및 제거 프로세스를 수행하는 단계를 포함하는, 발열체를 제조하는 방법
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