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절연 기판;상기 절연 기판 상에 배치되고, 전기적 전도성을 갖는 하부 전극;상기 하부 전극 상에 배치되고, 외부의 습기가 투습할 수 있도록 구비된 감습막 패턴; 및상기 감습막 패턴 상에 배치되며, 다공성 탄소나노튜브로 이루어진 상부 전극을 포함하는 정전용량형 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 절연 기판 상에 배치되고 상기 하부 전극과 이격된 본딩 패드를 더 포함하고,상기 감습막 패턴은 상기 본딩 패드와 부분적으로 오버랩되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도 센서
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절연 기판 상부에 전기적 전도성을 갖는 하부 전극을 형성하는 단계;상기 하부 전극 상에 감습막 패턴을 형성하는 단계; 및상기 감습막 패턴 상에 탄소나노튜브로 이루어진 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 정전용량형 습도 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 상부 전극을 형성하는 단계는,상기 탄소나노튜브를 포함하는 용액을 상기 하부 전극 상에 스프레이하여 탄소나노튜브 박막을 형성하는 단계;상기 탄소나노튜브 박막을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도 센서의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 박막을 패터닝하는 단계는,상기 탄소나노튜브 박막 상에 마스크를 형성하는 단계; 및상기 마스크가 형성된 탄소나노튜브 박막에 산소 플라즈마를 이용하는 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 산소 플라즈마를 이용하여 상기 하부 전극을 표면 처리하는단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도 센서의 제조 방법
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