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진동을 이용한 원자층 증착 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015133262
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진동을 이용한 원자층 증착 장치 및 방법을 개시한다. 본 발명에 따르면, 진동을 이용한 원자층 증착 장치로서, 진공 상태가 유지되는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하며, 기능성 박막이 증착되는 다공성 나노입자를 포함하는 다공성 실린더-상기 다공성 실린더는 상기 기능성 박막 형성을 위한 전구체 및 반응체의 소스가스는 통과시키고 상기 다공성 나노입자의 유출을 방지하는 사이즈의 기공을 가짐-; 및 상기 챔버에 진동을 가하는 진동자를 포함하되, 상기 진동자는 상기 챔버 내에 위치한 상기 다공성 실린더를 진동시키는 원자층 증착 장치가 제공된다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01)
CPC C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01)
출원번호/일자 1020130006388 (2013.01.21)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1491893-0000 (2015.02.03)
공개번호/일자 10-2014-0094121 (2014.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20150211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박석원 대한민국 서울 은평구
2 심준형 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최관락 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
2 송인호 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
3 민영준 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로 ****, *층(도곡동, 차우빌딩)(맥스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0055731-76
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0232247-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0590024-45
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1028165-79
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1028166-14
8 등록결정서
Decision to grant		 2015.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0071437-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진동을 이용한 원자층 증착 장치로서,진공 상태가 유지되는 챔버;상기 챔버 내에 위치하며, 박막이 증착되는 다공성 나노입자를 포함하는 다공성 실린더-상기 다공성 실린더는 상기 박막 형성을 위한 전구체 및 반응체의 소스가스는 통과시키고 상기 다공성 나노입자의 유출을 방지하는 사이즈의 기공을 가짐-; 및상기 챔버에 진동을 가하는 진동자를 포함하되,상기 진동자는 상기 챔버 내에 위치한 상기 다공성 실린더를 진동시키며, 상기 소스가스를 상기 챔버 내에 공급하기 위한 소스가스 공급부와 상기 챔버 사이에 배치되는 제1 밸로우즈 및 상기 챔버를 진공 상태로 유지하기 위한 펌프와 상기 챔버 사이에 배치되는 제2 밸로우즈를 더 포함하는 원자층 증착 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 밸로우즈 및 상기 챔버 사이에 배치되어 상기 다공성 실린더에 포함된 다공성 나노입자가 상기 펌프로 유입되는 것을 방지하는 다공성 가스켓을 더포함하는 원자층 증착 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 진동자는 퍼지 기간 중 미리 설정된 시간 동안 상기 챔버에 진동을 가하며, 소스가스 유입 기간 동안 상기 챔버에 진동을 가하는 원자층 증착 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 다공성 나노입자는 나노입자 분말인 원자층 증착 장치
6 6
제1항에 따른 장치를 이용하여 다공성 나노입자에 원자층을 증착하는 방법으로서,상기 챔버 내의 다공성 실린더에 다공성 나노입자를 충진하는 단계;상기 챔버를 진공 상태로 유지시키는 단계;상기 챔버 내부로 전구체를 포함하는 소스가스를 유입하는 단계;상기 전구체의 흡착 이후 부산물을 제거하는 단계;상기 챔버 내부로 반응체를 포함하는 소스가스를 유입하는 단계;상기 전구체와 상기 반응체의 반응을 통해 다공성 나노입자 상에 박막을 형성하는 단계; 및상기 박막 형성 이후 부산물을 제거하는 단계를 포함하되,상기 소스가스의 유입 기간 동안 및 상기 부산물을 제거하는 퍼지 기간 중 적어도 일부의 시간 동안 상기 챔버에 진동을 가하며, 상기 원자층 증착 장치는 상기 소스가스를 상기 챔버 내에 공급하기 위한 소스가스 공급부와 상기 챔버 사이에 배치되는 제1 밸로우즈 및 상기 챔버를 진공 상태로 유지하기 위한 펌프와 상기 챔버 사이에 배치되는 제2 밸로우즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 고려대학교 산학협력단 한-스위스 과학기술협력기반조성사업 고성능-고효율 휴대전원용 초소형 고체산화물연료전지 기술 개발 협력사업