맞춤기술찾기

이전대상기술

다방향 순차적 소스 공급을 통한 파우더 상 균일 ALD 공정 장치

  • 기술번호 : KST2015133304
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다방향 순차적 소스 공급을 통한 파우더 상 균일 ALD 공정 장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 의한 다방향 순차적 소스 공급을 통한 파우더 상 균일 ALD 공정 장치는 복수의 전구체 공급구가 형성된 반응기; 및 상기 복수의 전구체 공급구가 순차적으로 개폐할 수 있도록 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01)
출원번호/일자 1020130021923 (2013.02.28)
출원인 현대자동차주식회사, 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0107843 (2014.09.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.26)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 현대자동차주식회사 대한민국 서울특별시 서초구
2 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이훈희 대한민국 서울특별시 동작구
2 노범욱 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 심준형 대한민국 서울특별시 강남구
4 박석원 대한민국 서울특별시 은평구
5 최형종 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최관락 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
2 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)
3 송인호 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
4 민영준 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로 ****, *층(도곡동, 차우빌딩)(맥스국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0181446-35
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2013.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0434941-92
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0549752-22
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0570005-38
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0723755-07
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0725864-03
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2014-0033563-46
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1248015-33
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0061373-99
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.02.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0172731-12
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0172732-57
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0506652-39
16 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2016-5009725-79
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5148973-60
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 전구체 공급구가 형성된 반응기; 및상기 복수의 전구체 공급구가 순차적으로 개폐할 수 있도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다방향 순차적 소스 공급을 통한 파우더 상 균일 ALD 공정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.