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분산을 이용한 원자층 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015133463
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노 입자를 진동을 가진 파장을 이용하여 분산시켜 개별 나노 입자에 균일하게 증착할 수 있는 분산을 이용한 원자층 증착 장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 의한 분산을 이용한 원자층 증착 장치는 파우더 챔버; 상기 파우더 챔버와 연결되어 기체가 상기 파우더 챔버로 이동될 수 있는 가스 이동관; 일정 주파수의 진동을 일으킬 수 있는 파장을 발생시키는 파장 발생부; 상기 파장 발생부의 파장 발생을 제어하는 파장 제어부; 및 상기 파우더 챔버 및 상기 파장 발생부를 수용하고, 상기 파장 발생부에서 발생한 파장이 상기 파우더 챔버로 전달수 있도록 소정 매질이 채워질 수 있는 매질 챔버를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01)
CPC C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01) C23C 16/45544(2013.01)
출원번호/일자 1020130131380 (2013.10.31)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1535354-0000 (2015.07.02)
공개번호/일자 10-2014-0109234 (2014.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (20150710) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130021920   |   2013.02.28
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최형종 대한민국 전북 전주시 덕진구
2 심준형 대한민국 서울 강남구
3 박석원 대한민국 서울 은평구
4 한권덕 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최관락 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
2 송인호 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
3 민영준 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로 ****, *층(도곡동, 차우빌딩)(맥스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0992459-28
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0994064-44
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0011922-03
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0111297-70
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0361706-58
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0361707-04
10 등록결정서
Decision to grant
2015.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0426049-63
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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삭제
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파우더 챔버;상기 파우더 챔버와 연결되어 기체가 상기 파우더 챔버로 이동될 수 있는 가스 이동관;일정 주파수의 진동을 일으킬 수 있는 파장을 발생시키는 파장 발생부; 상기 파장 발생부의 파장 발생을 제어하는 파장 제어부; 및상기 파우더 챔버 및 상기 파장 발생부를 수용하고, 상기 파장 발생부에서 발생한 파장이 상기 파우더 챔버로 전달수 있도록 소정 매질이 채워질 수 있는 매질 챔버를 포함하고, 상기 파우더 챔버는 중력 반대 방향으로의 이동 경로가 형성된 것을 특징으로 하는 분산을 이용한 원자층 증착 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 파우더 챔버는U자관 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 분산을 이용한 원자층 증착 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 분산을 이용한 원자층 증착 장치는상기 가스 이동관을 통해 이동되는 비활성 기체의 유량을 제어하는 유량 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분산을 이용한 원자층 증착 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 분산을 이용한 원자층 증착 장치는상기 가스 이동관을 통한 비활성 기체의 유입 및 전구체의 유입의 반복적 수행을 위한 공정 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분산을 이용한 원자층 증착 장치
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 고려대학교 산학협력단 한-스위스 과학기술협력기반조성사업 고성능-고효율 휴대전원용 초소형 고체산화물연료전지 기술 개발 협력사업