맞춤기술찾기

이전대상기술

원자층 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015134342
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 난류를 유발하여 나노입자 상에 원자층을 균일하게 증착할 수 있는 원자층 증착 장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 의한 원자층 증착 장치는 수평 위치를 달리하는 복수의 퍼지 가스 유입구가 형성된 챔버; 상기 챔버에 존재하는 유체를 이동시키기 위한 펌프; 상기 챔버와 상기 펌프 사이에 위치하여 상기 유체의 유량을 조절할 수 밸브; 상기 복수의 퍼지 가스 유입구로 유입되는 퍼지 가스의 유입기간 및 유량을 조절하는 유량 조절부; 및 상기 펌프, 상기 밸브, 및 상기 유량 조절부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/442(2013.01) C23C 16/442(2013.01)
출원번호/일자 1020130132081 (2013.11.01)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1543858-0000 (2015.08.05)
공개번호/일자 10-2014-0108096 (2014.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20150811) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130021921   |   2013.02.28
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.01)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 심준형 대한민국 서울 강남구
2 박석원 대한민국 서울 은평구
3 최형종 대한민국 전북 전주시 덕진구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최관락 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
2 송인호 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 ** (역삼동) 동림빌딩 *층(아이피즈국제특허법률사무소)
3 민영준 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로 ****, *층(도곡동, 차우빌딩)(맥스국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0995800-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0008610-92
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0111298-15
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0372067-38
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0372066-93
9 등록결정서
Decision to grant
2015.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0511818-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수평 위치를 달리하는 복수의 퍼지 가스 유입구가 형성된 챔버;상기 챔버에 존재하는 유체를 이동시키기 위한 펌프; 상기 챔버와 상기 펌프 사이에 위치하여 상기 유체의 유량을 조절할 수 밸브; 상기 복수의 퍼지 가스 유입구로 유입되는 퍼지 가스의 유입기간 및 유량을 조절하는 유량 조절부; 및상기 펌프, 상기 밸브, 및 상기 유량 조절부를 제어하는 제어부를 포함하되,상기 복수의 퍼지 가스 유입구는 상기 챔버의 측벽면부에 대향되게 형성되어, 제1측과 대향되는 제2측에 교차로 배치되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 원자층 증착 장치는상기 챔버의 상부 및 하부에 형성된 다공성 막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 챔버는다공성 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 고려대학교 산학협력단 한-스위스 과학기술협력기반조성사업 고성능-고효율 휴대전원용 초소형 고체산화물연료전지 기술 개발 협력사업