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주사탐침열현미경을 이용한 열물리량계측방법

  • 기술번호 : KST2015134383
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노스케일(nano scale)의 해상력을 가지고 시편을 주사(scanning)하여 시편의 열적 특성 등을 이미지로 나타내는 주사탐침열현미경에 관한 것으로서, 특히 주사탐침열현미경을 이용한 열물리량계측방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 주사탐침열현미경의 탐침을 시편에 접촉시킨 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 열물리량(접촉모드 열물리량)을 계측하고, 주사탐침열현미경의 탐침을 시편과 이격시킨 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 열물리량(리프트모드 열물리량)를 계측하는 열물리량 계측단계와; 상기 접촉모드 열물리량과 상기 리프트모드 열물리량의 비교에 의해, 정량적 열물리량을 획득하는 정량적 열물리량 획득단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경을 이용한 열물리량 계측방법을 제시함으로써, 정량적으로 열물리량을 계측할 수 있다. 주사탐침열현미경, 탐침, 열물리량
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01K 7/00 (2011.01) G01N 25/00 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC G01K 17/003(2013.01) G01K 17/003(2013.01) G01K 17/003(2013.01)
출원번호/일자 1020080041284 (2008.05.02)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0983883-0000 (2010.09.16)
공개번호/일자 10-2009-0115426 (2009.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20100928) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.02)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권오명 대한민국 서울특별시 성북구
2 김경태 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정식 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)(특허법인주원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0317994-72
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document
2008.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0329716-22
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0023431-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0523431-03
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0106684-99
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0175614-10
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0175610-27
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0156558-07
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0378502-55
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0378503-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
14 등록결정서
Decision to grant
2010.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0408098-95
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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삭제
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주사탐침열현미경의 탐침을 시편에 접촉시킨 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 열물리량(접촉모드 열물리량)을 계측하고, 주사탐침열현미경의 탐침을 시편과 이격시킨 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 열물리량(리프트모드 열물리량)를 계측하는 열물리량 계측단계와; 상기 접촉모드 열물리량과 상기 리프트모드 열물리량의 비교에 의해, 열물리량을 획득하는 열물리량 획득단계를 포함하며; 상기 열물리량은 다음과 같은 시편의 온도분포 식,Tsub(x)에 의해 획득되는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경을 이용한 열물리량계측방법, 여기서, Tc는 접촉모드 온도이고, Tl은 리프트모드 온도이고, 는 무차원 상수 C/Gts(여기서, C는 [W/K]의 차원을 갖는 비례상수, Gts는 첨단-시편의 전도력)이고, x는 시편의 국소 지점이다
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청구항 2에 있어서, 상기 무차원상수 는, 다음과 같은 식에 의해 실험적으로 획득되는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경을 이용한 열물리량계측방법, 여기서, Tsub는 열저항계수(TCR)로 계측한 시편의 온도이고, Tc는 상기 시편을 이용한 접촉모드 온도이고, Tl은 상기 시편을 이용한 리프트모드 온도이고, x는 상기 실험 시편의 국소 지점이다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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