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피부와 직접 접촉되는 박막전극(2)이 접착된 PDMS(polydimethylsiloxane) 레이어(1)와, PDMS 레이어(1)가 접착되며, 접착 시 박막전극(2)이 돌출되도록 하기 위한 융기부(3)를 구비하여서 된 지지층(4)과, 지지층(4) 양단부에 연결, 고정된 밴드나 벨트 등의 조임 수단(5)과, 박막전극 연결부(6)에 인접하여 PDMS 레이어(1)와 지지층(4)에 형성된 통공으로 도입하여 박막전극 연결부(6)에 접속되도록 한 도선(8)으로 구성됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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제1항에 있어서,전술한 도선(8)은 통공을 통하여 PDMS 레이어(1)의 박막전극(2)과 접촉되도록 한 후, 도전성 접착제(7)로 연결하고, 그 위를 PDMS로 덮어 밀봉하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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제1항에 있어서,전술한 박막전극(2)은 금과 티타늄 합금인 것을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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제1항에 있어서,전술한 지지층(4)은 PDMS로 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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제1항에 있어서,전술한 박막전극(2)은 PDMS 레이어(1) 위에 반응성이온에칭(reactive ion etching)으로 산소 플라즈마로 처리한 후 전자빔증착법 (E-beam evaporation)을 이용하여 Ti(30Å)/Au(3000Å)을 증착하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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제5항에 있어서,전술한 박막전극(2)을 위하여 증착된 후 전극 모양으로 패터닝하기 위하여 증착 완료면 위에 포토레지스트를 스핀 코팅한 후 가열하고, 그 위에 전극 모양의 마스크를 올려 자외선을 조사한 후, 포토레지스트 제거액으로 현상한 다음 부식액을 이용하여 에칭한 후 포토레지스트 잔류물을 초음파, 고압 스프레이 방식의 포토레지스트 스트리퍼를 이용하여 제거하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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제1항에 있어서,전술한 지지층(4)의 내부에 도선(8)과 연결된 배터리(10)로 작동하는 무선 송신장치(9)를 내장하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극
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