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기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공정 챔버에 부착되고, 둘레를 따라 다수의 홀들을 가지며, 상기 홀들 중 하나가 개폐되며 상기 공정 챔버에 형성된 챔버 홀과 연결되는 고정 플레이트;상기 홀들과 대응하도록 둘레를 따라 다수의 윈도우들을 갖는 윈도우 플레이트; 및상기 윈도우 플레이트가 상기 고정 플레이트와 밀착되거나 이격되도록 상기 윈도우 플레이트를 이동시키며, 상기 개폐 홀과 대응하는 윈도우가 교체되도록 상기 윈도우 플레이트를 회전시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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제1항에 있어서, 상기 고정 플레이트는 상기 개폐 홀을 제외한 홀들 중 적어도 하나와 연결되며, 상기 윈도우에 증착된 상기 식각 공정의 부산물을 제거하기 위한 세정 유체를 수용하는 세정 공간을 갖는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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제2항에 있어서, 상기 세정 유체는 세정 가스 또는 세정 용액인 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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제2항에 있어서, 상기 세정 공간은 상기 공정 챔버와 마주하는 상기 고정 플레이트의 일측 면에 형성된 홈이며 상기 공정 챔버에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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제2항에 있어서, 상기 세정 공간은 상기 고정 플레이트의 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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제2항에 있어서, 상기 윈도우 플레이트는 오링들을 더 포함하며, 상기 오링들은 상기 고정 플레이트와 마주보는 일측 면에 상기 윈도우들의 둘레를 따라 각각 배치되며, 상기 윈도우 플레이트가 상기 고정 플레이트와 접촉할 때 서로 대응하는 상기 윈도우들과 상기 홀들의 둘레를 밀봉하는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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제1항에 있어서, 상기 고정 플레이트, 상기 윈도우 플레이트 및 상기 구동부를 수용하며 상기 공정 챔버에 착탈 가능하도록 구비되고, 진공 공간을 형성하는 보조 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 포트
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기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공정 챔버에 부착되고, 둘레를 따라 다수의 홀들을 가지며, 상기 홀들 중 하나가 개폐되며 상기 공정 챔버에 형성된 챔버 홀과 연결되는 고정 플레이트와, 상기 홀들과 대응하도록 둘레를 따라 다수의 윈도우들을 갖는 윈도우 플레이트 및 상기 윈도우 플레이트가 상기 고정 플레이트와 밀착되거나 이격되도록 상기 윈도우 플레이트를 이동시키며, 상기 개폐 홀과 대응하는 윈도우가 교체되도록 상기 윈도우 플레이트를 회전시키는 구동부를 포함하는 종료점 검출 포트; 및상기 챔버 홀, 상기 개폐 홀 및 상기 윈도우를 통해 방출되는 플라즈마 파장을 감지하여 상기 식각 공정의 종료점을 검출하는 종료점 검출 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 종료점 검출 장치
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