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플라즈마 뷰포트 식각 장치

  • 기술번호 : KST2015134590
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마 뷰포트 식각 장치는 기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공간을 제공하는 공정 챔버, 상기 공정 챔버 내부에 상호 마주보도록 배치되며, 상기 챔버 내부에 존재하는 공정 가스를 플라즈마로 변환시키도록 구비된 한 쌍의 플라즈마 전극들 및 상기 공정 챔버의 외부에 배치되며, 상기 플라즈마를 부분적으로 유도하여 상기 공정 챔버의 내벽에 잔류하는 불순물을 제거하는 불순물 제거부를 포함한다. 따라서, 상기 공정 챔버의 내부에 잔류하는 분순물을 제거할 수 있다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01)
CPC H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01)
출원번호/일자 1020120092637 (2012.08.23)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1348001-0000 (2013.12.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권광호 대한민국 대전광역시 유성구
2 천인우 대한민국 경기도 군포시 금산로 ** 래미안하이어스아파트 *
3 손진영 대한민국 경기도 수원시 권선구
4 강성칠 대한민국 서울특별시 영등포구
5 장한별 대한민국 대구광역시 달서구
6 함용현 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 세종산학협력단 세종특별자치시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0679792-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0063344-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0702483-93
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1053911-75
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-1053916-03
7 등록결정서
Decision to grant
2013.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0885722-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공간을 제공하는 공정 챔버;상기 공정 챔버 내부에 상호 마주보도록 배치되며, 상기 챔버 내부에 존재하는 공정 가스를 상기 기판을 식각하기 위한 플라즈마로 변환시키도록 구비된 한 쌍의 플라즈마 전극들; 상기 공정 챔버의 일측에 배치되며, 상기 플라즈마의 파장을 감지하여 상기 식각 공정의 종료점을 검출하기 위한 윈도우; 및상기 공정 챔버의 외부에 배치되며, 상기 기판의 식각에 사용되는 플라즈마를 부분적으로 유도하여 상기 윈도우의 내벽에 잔류하는 불순물을 제거하는 불순물 제거부를 포함하는 플라즈마 뷰포트 식각 장치
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 불순물 제거부는 상기 공정 챔버의 외부에 배치되며, 상기 플라즈마를 상기 윈도우로 부분적으로 유도하기 위한 클리닝 전원을 인가받는 클리닝 전극을 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 뷰포트 식각 장치
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제3항에 있어서, 상기 불순물 제거부는 상기 클리닝 전극에 고주파 전원 또는 직류 전원을 공급하는 파워 소스(power source)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 뷰포트 식각 장치
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제1항에 있어서, 상기 불순물 제거부는, 상기 공정 챔버와 연통되며 상기 윈도우가 그 일측에 장착된 보조 챔버; 및상기 보조 챔버를 이루는 벽면 내부에 코일 형상으로 구비되며, 상기 플라즈마를 상기 윈도우로 부분적으로 유도하기 위해 상기 보조 챔버의 내부에 자기장을 형성하는 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 뷰포트 식각 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.