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구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액

  • 기술번호 : KST2015135531
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액이 개시된다. 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액은 구연산, 5-아미노테트라졸 및 염기성 화합물로 이루어진 pH 조절제를 포함한다.
Int. CL C11D 7/32 (2006.01.01) C11D 7/26 (2006.01.01)
CPC C11D 7/26(2013.01) C11D 7/26(2013.01)
출원번호/일자 1020090093716 (2009.10.01)
출원인 주식회사 케이씨, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0036184 (2011.04.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.09.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨 대한민국 경기도 안성시
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재정 대한민국 서울특별시 서초구
2 서명원 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 황준하 대한민국 경기도 안성시
4 권장국 대한민국 충남 당진군
5 임영 대한민국 경기도 안성시
6 권오중 대한민국 경기도 안양시 동안구
7 배재한 대한민국 서울특별시 송파구
8 조범구 대한민국 서울특별시 송파구
9 김영준 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0605583-88
2 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2009.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0073635-78
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0909249-57
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2015-0054189-83
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0832975-84
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0068814-75
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0068805-64
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0389717-86
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5246687-07
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구연산, 5-아미노테트라졸 및 염기성 화합물로 이루어진 pH 조절제를 포함하는 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
2 2
제1항에 있어서, 상기 구연산의 농도가 0
3 3
제1항에 있어서, 상기 5-아미노테트라졸의 농도가 0
4 4
제1항에 있어서, 상기 염기성 화합물이 수산화칼륨, 테트라메틸암모늄 하이드록시드 및 수산화나트륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종인 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
5 5
제1항에 있어서, 테트라메틸암모늄 하이드록시드, RE610 및 알콜 에테르 설페이트(Alcohol ether sulfate: AES) 중 적어도 하나의 성분을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
6 6
제1항에 있어서, 상기 세정액의 pH가 9 내지 13인 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
7 7
제1항에 있어서, 상기 세정액의 제타 전위가 -90 내지 -50 mV인 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.