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반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015137361
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 공정 설비에서 신호의 변동 패턴을 검출하여 센서 데이터를 최적의 세그먼트로 분할하는 방법과 그 시스템을 제안한다. 반도체 설비의 센서 데이터로부터 의미있는 세그먼트(Segment)를 분할하여 반도체 설비의 초 단위 또는 그 이하의 센서 데이터를 자동으로 요약함으로써 웨이퍼 가공상의 설비 문제를 정확히 검출하거나 이미 발생한 불량 웨이퍼의 설비 연관성을 파악하는데 유용하게 활용될 수 있는 최적의 세그먼트로 센서 데이터를 분할할 수 있다. 이에 따라 노이즈가 작고 계산 부하를 줄일 수 있게 된다.
Int. CL H01L 21/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020130092617 (2013.08.05)
출원인 삼성전자주식회사, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2026069-0000 (2019.09.23)
공개번호/일자 10-2015-0017036 (2015.02.16) 문서열기
공고번호/일자 (20190930) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.07.20)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박해상 대한민국 서울특별시 성동구
2 이영학 대한민국 경기도 수원시 권선구
3 김정희 대한민국 경기 성남시 분당구
4 전희식 대한민국 경기 수원시 영통구
5 박은정 대한민국 서울특별시 관악구
6 조성준 대한민국 서울특별시 관악구
7 박주성 대한민국 서울특별시 관악구
8 양지원 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자 주식회사 경기도 수원시 영통구
2 서울대학교 산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0707896-50
2 보정요구서
Request for Amendment
2013.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0093261-92
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-0816368-99
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0909479-17
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-1018135-96
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-1037434-22
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.12.03 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2013-1105758-38
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-1105765-58
9 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2013.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0151767-21
10 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2013.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-1116960-13
11 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2013.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0156503-57
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0718552-01
15 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0718578-87
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
18 등록결정서
Decision to grant
2019.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0488185-44
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 설비의 공정 프로세스에 대한 데이터를 측정하는 센서;상기 센서를 통해 측정된 센서 데이터의 변동 포인트를 추출하여 세그먼트(Segment)를 AD(Abnormal Difference) 분할하는 제1세그먼트 분할부;상기 제1세그먼트 분할부를 통해 분할된 각 세그먼트 내에서 상기 센서 데이터의 연속성 비율을 평가하는 연속성 평가부;상기 센서 데이터의 연속성 비율이 기준 비율을 초과하면, FS(Free-knot Spline) 알고리즘을 이용하여 세그먼트를 FS 분할하는 제2세그먼트 분할부;상기 제1세그먼트 분할부를 통해 분할된 AD 결과 및 상기 제2세그먼트 분할부를 통해 분할된 FS 결과를 비교하여 세그먼트 분할을 결정하는 분할 결정부를 포함하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 센서를 통해 측정된 센서 데이터들의 신호 길이를 일정한 길이로 통합하는 전처리부를 더 포함하고,상기 제1세그먼트 분할부는 상기 전처리부를 통해 일정한 신호 길이로 통합된 상기 센서 데이터가 변동하는 포인트를 추출하여 데이터의 변화량이 큰 지점에서 상기 세그먼트를 AD 분할하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
3 3
제2항에 있어서,상기 전처리부는 반도체 웨이퍼의 가공 시 발생하는 비정상 신호를 자동으로 필터링하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
4 4
제2항에 있어서,상기 제1세그먼트 분할부는 센서 신호(Signal)의 차분(Difference)을 통해 전후 차이가 큰 시점을 구분자로 인지하여 유사한 신호 특성을 가지는 세그먼트로 분할하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
5 5
제2항에 있어서,상기 연속성 평가부는 상기 제1세그먼트 분할부를 통해 분할된 각 세그먼트 내에서 상기 센서 데이터의 변화량이 넌제로(Non-zero)인 세그먼트가 연속적으로 나타나는 구간을 찾아 상기 센서 데이터의 연속성 비율을 평가하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
6 6
제5항에 있어서,상기 연속성 평가부는 상기 센서 데이터의 연속성 비율이 기준 비율을 초과하면 연속형 데이터(Continuous-type data)로 평가하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
7 7
제5항에 있어서,상기 제2세그먼트 분할부는 상기 센서 데이터의 연속성 비율이 상기 기준 비율을 초과하면 노트(Knot)의 위치를 추정하고 제거하는 작업을 반복적으로 수행하여 세그먼트를 FS 분할하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
8 8
제1항에 있어서,상기 제1세그먼트 분할부 및 상기 제2세그먼트 분할부를 통해 분할된 세그먼트 중에 원 포인트 세그먼트(One-point Segment)가 존재하는 경우, 해당 세그먼트를 좌우 세그먼트 중에서 가까운 값에 포함시키는 후처리 과정을 진행하는 후처리부를 더 포함하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 시스템
9 9
센서를 통해 반도체 설비의 공정 프로세스에 대한 데이터를 측정하고;상기 센서를 통해 측정된 센서 데이터의 변동 포인트를 추출하여 세그먼트(Segment)를 AD(Abnormal Difference) 분할하고;상기 AD 분할된 각 세그먼트 내에서 상기 센서 데이터의 변화량이 넌제로(Non-zero)인 세그먼트를 찾아 상기 센서 데이터의 연속성 비율을 평가하고;상기 센서 데이터의 연속성 비율이 기준 비율을 초과하면, FS(Free-knot Spline) 알고리즘을 이용하여 세그먼트를 FS 분할하고;상기 AD 분할 결과 및 상기 FS 분할 결과를 비교하여 상기 세그먼트의 수가 적은 분할 결과를 선택하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 센서를 통해 측정된 센서 데이터들의 신호 길이를 일정한 길이로 통합하는 전처리 과정을 더 포함하고,상기 세그먼트를 AD 분할하는 것은,상기 전처리 과정을 통해 일정한 신호 길이로 통합된 상기 센서 데이터가 변동하는 포인트를 추출하여 데이터의 변화량이 큰 지점에서 상기 세그먼트를 AD 분할하는 반도체 설비의 센서 데이터 분할 방법
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09696717 US 미국 FAMILY
2 US20150039117 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2015039117 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9696717 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.