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적어도 하나의 규소 원자와 적어도 하나의 탄소 원자가 서로 번갈아 가며 직접 결합하고 있는 선형 실라알칸 화합물을 단독으로 또는 두 가지 이상 혼합 사용하여 화학증착법으로 탄화규소 막을 제조하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 선형 실라알칸 화합물이 규소 원자를 세 개 이하로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제2항에 있어서, 상기 실라알칸 화합물이 한 개의 규소 원자를 포함하는 경우, 규소가 적어도 하나의 수소 및 적어도 하나의 알킬기를 가지며, 상기 알킬기 중 적어도 하나는 에틸기, 프로필기 또는 부틸기임을 특징으로 하는 방법
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제3항에 있어서, 상기 선형 실라알칸 화합물이 디메틸이소프로필실란인 방법
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제2항에 있어서, 상기 실란알칸 화합물이 두개의 규소 원자를 포함하는 경우, 두 개의 규소 및 가운데의 탄소가 하나 이상의 수소, 메틸기, 에틸기 또는 프로필기를 가지는 것을 특징으로 하는 방법
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제5항에 있어서, 상기 선형 실라알칸 화합물이 1, 3-디실라부탄인 방법
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제2항에 있어서, 상기 실라알칸 화합물이 세 개의 규소 원자를 포함하는 경우, 세 개의 규소 및 이들 사이의 두 개의 탄소가 하나 이상의 수소, 메틸기, 에틸기 또는 프로필기를 가지는 것을 특징으로 하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 선형 실라알칸 화합물이 1, 3, 5-트리실라펜탄, 2, 4, 6-트리실라헵탄 또는 2, 6-디메틸-2, 4, 6-트리실라헵탄인 방법
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제1항에 있어서, 화학증착의 압력이 25~55Pa이고, 기질의 온도가 600~1,000℃인 방법
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제1항에 있어서, 기질 표면의 산소 층을 제거하기 위해 증착 전에 기질을 870~970℃에서 25~100sccm의 수소로 전처리하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 선형 실라알칸 화합물을 운반 기체와 혼합하여 사용하는 방법
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제11항에 있어서, 상기 운반 기체로 수소, 아르곤 또는 이들의 혼합 기체를 사용하는 방법
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제1항에 있어서, 기질의 가열을 적외선 가열, 저항 가열, 고주파 가열, 또는 전자살 가열을 이용하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 탄화규소 막을 증착시키기 전 규소 기질의 표면을 메탄, 에탄, 프로판 또는 부탄으로 미리 탄화시킴을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 기질이 규소(다결정 또는 단결정), 흑연, 탄화규소(다결정 또는 단결정), 탄화텅스텐 또는 탄소강임을 특징으로 하는 방법
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