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화학증착에의해알킬산디알킬알루미늄으로부터산화알루미늄막을형성하는방법

  • 기술번호 : KST2015137971
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 별도의 산소 공급물질을 사용하지 않고서 상온에서도 하기식의 알킬산디알킬알루미늄을 원료로 사용하여 화학증착에 의해 기질위에 산화알루미늄막을 형성하는 방법에 관한 것이다:R12AlOR2상기식에서 R1과 R2는 같거나 서로 다르며, 각각 C1-C10 알킬이다.
Int. CL C30B 29/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019950046455 (1995.12.04)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0164984-0000 (1998.09.15)
공개번호/일자 10-1997-0043358 (1997.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (19990115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.12.04)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시유성구
2 고원용 대한민국 대전광역시유성구
3 구수진 대한민국 대전광역시달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 조현실 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, 한라클래식빌딩 *층 (역삼동)(한성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국화학연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1995-0181903-64
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1995-0181902-18
3 특허출원서
Patent Application		 1995.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1995-0181901-73
4 등록사정서
Decision to grant		 1998.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0096166-31
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0009784-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0089084-24
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0007135-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056808-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.05 수리 (Accepted) 4-1-2002-0056800-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

하기식의 알킬산디알킬알루미늄을 기화시켜 화학증착에 의하여 기질위에 산화알루미늄막을 형성하는 방법:R12AlOR2 상기식에서 R1과 R2는 같거나 서로 다르며, 각각 C1-C10 알킬이다

2 2

제1항에 있어서, 상기 알킬산디알킬알루미늄이 이소프로필산디메틸알루미늄, tert-부틸산디메틸알루미늄 또는 이소프로필산디에틸알루미늄인 것을 특징으로 하는 방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 기질이 규소 단결정인 것을 특징으로 하는 방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP00865514 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP03148249 JP 일본 FAMILY
3 JP11500789 JP 일본 FAMILY
4 US05922405 US 미국 FAMILY
5 WO1997020963 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AT201460 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
2 DE69612997 DE 독일 DOCDBFAMILY
3 DE69612997 DE 독일 DOCDBFAMILY
4 EP0865514 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP0865514 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 ES2159057 ES 스페인 DOCDBFAMILY
7 JP11500789 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 JP3148249 JP 일본 DOCDBFAMILY
9 JPH11500789 JP 일본 DOCDBFAMILY
10 US5922405 US 미국 DOCDBFAMILY
11 WO9720963 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
12 WO9720963 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.