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아래 식으로 표현되는 알킬알루미늄알킬산알칸리금속을 할로겐화마그네슘과 반응시켜 Mg[(μ-OR')2AlR2]2로 표현되는 알킬알루미늄알킬산마그네슘을 제조하는 방법
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제 3항에 있어서, 메틸알루미늄이소프로필산알칼리 금속을 할로겐화마그네슘과 반응시켜 메틸알루미늄이 소프로필산마그네슘을 제조하는 방법
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제 1항에 있어서, 에틸알루미늄이소프로필산알칼리 금속을 할로겐화마그네슘과 반응시켜 에틸알루미늄이 소프로필산마그네슘을 제조하는 방법
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제 2항에 있어서, 가) 메틸알루니늄을 알코올과 반응시키거나 메틸알루미늄을 이소프로필산알루미늄과 2 : 1의 몰비로 상온에서 반응시켜 디메틸이소프로필산알루미늄을 합성하는 단계; 나) 상기 디메틸이소프로필산알루미늄을 이소프로필산알칼리금속과 반응시켜 메틸알루미늄이소프로필산알칼리금속을 합성하는 단계; 및 다) 상기 메틸알루미늄이소프로필산알칼리금속을 MgBr2와 반응시켜 메틸알루미늄이소프로필산마그네슘을 얻는 단계를 포함하는 방법
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제 3항에 있어서, 가) 에틸알루미늄을 알코올과 반응시키거나 에틸알루미늄을 이소프로필산알루미늄과 2:1의 몰비로 상온에서 반응시켜 디에틸이소프로필산알루미늄을 합성하는 단계; 나) 상기 디에틸이소프로필산알루미늄을 이소프로필산알칼리금속과 반응시켜 에틸알루미늄이소프로필산알칼리금속을 합성하는 단계; 및 다) 상기 에틸알루미늄이소프로필산알칼리금속을 MgBr2와 반응시켜 에틸알루미늄이소프로필산마그네슘을 얻는 단계를 포함하는 방법
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아래 일반식으로 표현되는 알킬알루미늄알킬산마그네슘을 원료로사용하여 기질 위에 알루민산마그네슘 막을 형성하는 방법
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제 6에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘을 기체 상태로 상기 기질과 접촉시켜 상기 알루민산마그네슘 막을 형성하는 방법
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제 7항에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘의 알킬기가 메틸기이고 알킬산기가 이소프로필산기임을 특징으로 하는 방법
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제 8항에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘이 상온에서 기체 상태로 되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 7항에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘의 알킬기가 에틸기이고 알킬산기가 이소프로필산기임을 특징으로 하는 방법
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제 10항에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘이 60℃에서 기체 상태로 되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 7항에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘의 알킬기가 메틸기이고 알킬산기가 tert-부틸기임을 특징으로 하는 방법
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제 12항에 있어서, 상기 알킬알루미늄알킬산마그네슘이 60℃에서 기체 상태로 되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 7항에 있어서, 상기 기질이 규소 단결정 또는 비소화갈륨 단결정임을 특징으로 하 는 방법
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제 7항에 있어서, 상기 기질이 반도체 기질인 것을 특징으로 하는 방법
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Mg[(μ-OR')2AlR2]2 (상기 식에서, R'은 이소프로필기이고, R은 메틸기 또는 에틸기이다)로 표현되는 알킬알루미늄알킬산마그네슘
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