유기금속 전구체를 지지체 표면에 열분해시켜서 복합막을 제조하는 증착장치에 있어서, 다공성 지지체(4)와 전구체 용기(2)로부터 유입된 전구체를 반응시키도록 구비된 증착진공로(1)와; 상온에서 일정한 저진공을 유지하고, 전구체를 승화시킬 수 있는 전구체 용기(2)와; 승화된 전구체의 유입량을 조절하도록 전구체 용기(2)와 증착진공로(1)의 유로에 위치된 테플론 밸브(3)와; 상기 다공성 지지체(4)를 가열할 수 있도록 다공성 지지체의 뒷면에 설치된 가열선(5)과; 상기 가열선(5)으로부터 가열된 다공성 지지체(4)의 온도를 측정할 수 있는 온도계측기(6)와; 상기 가열선(5)으로부터 가열된 다공성 지지체(4)의 뒷면의 진공도를 일정하게 유지할 수 있도록 구비된 확산펌프(7)와; 상기 증착로(1)의 진공을 유지하도록 구비된 진공펌프(8)와; 그리고 상기 가열선(5)으로부터 가열된 다공성 지지체(4)의 뒷면에 수소기체를 유입할 수 있도록 구비된 수소유입펌프(9)를 포함하는 것임을 특징으로 하는 팔라듐 무기복합막 제조용 진공증착장치

유기금속 전구체를 지지체와 근거리에 위치하도록 하고, 진공하에서 승화 온도 및 열분해 온도까지 가열하여 지지체에 상기 유기금속 전구체를 증착시키는 방법에 있어서, 상온 저진공(1×10-5 ~ 1×10-3 mmHg) 조건에서 다음 화학식 1로 표시되는 유기금속 전구체를 승화시킨 후 증착진공로(1×10-5 ~ 1×10-2 mmHg)로 이송하여 200 ~ 400℃로 가열된 다공성 지지체 표면에 증착시킨 다음, 열분해시켜 무기복합막을 제조하는 것을 특징으로 하는 팔라듐 무기복합막의 제조방법

제2항에 있어서, 상기 표면증착된 다공성 지지체의 온도를 150℃ 이하로 낮추고 지지체의 증착면의 반대쪽 면으로 수소 기체를 유입시켜 지지체 표면에 금속막을 형성시키는 것을 특징으로 하는 팔라듐 무기복합막의 제조방법

제2항에 있어서, 상기 다공성 지지체는 기공 크기가 1 ㎛ 이하이고, 상기한 증착조건(1×10-5 ~ 1×10-2 mmHg, 200 ~ 400℃)에서 견딜 수 있는 것임을 특징으로 하는 무기복합막의 제조방법