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하기 화학식 1로 표시되는 금속 알콕사이드 화합물: 화학식 1 상기 식 중, M은 바륨, 스트론튬 또는 티타늄이며 X1 및 X2는 각각 RO(CH2)nO-, (RO(CH2)n)2N-, RO(CH2)nNH-, R2N- 또는 RO- 이며, R은 C1-C4 알킬, Y는 수소 또는 C1-C4 알킬이며, l은 2 또는 4, m은 1 내지 3의 정수, n은 2 또는 3이다
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제1항에 있어서, X1 및 X2가 각각 RO(CH2)nO-, (RO(CH2)n)2N- 또는 RO(CH2)nNH-인 경우 R은 메틸 또는 에틸인 것을 특징으로 하는 금속 알콕사이드 화합물
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제1항에 있어서, X1 및 X2가 R2N- 또는 RO- 인 경우 R은 메틸, 에틸, 프로필, 이소프로필 또는 부틸 인 것을 특징으로 하는 금속 알콕사이드 화합물
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제1항에 있어서, 바륨, 스트론튬 또는 티타늄 금속이 알코올 리간드와 각각 2개 또는 4개의 이온 결합 외에도, 에테르의 산소 원자 또는 아민의 질소 원자 위의 비공유 전자쌍에 의한 부속 배위 자리와 중심 금속의 결합을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 알콕사이드 화합물
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바륨, 스트론튬 또는 티타늄 금속 선구 물질과 하기 화학식 2의 알코올 리간드 화합물을 반응시키는 것을 포함하는 제1항의 금속 알콕사이드 화합물 제조 방법: 화학식 2 X1-(CH2)mCH(OH)(CH2)m-X2 상기 식 중, X1 및 X2는 각각 RO(CH2)nO-, (RO(CH2)n)2N-, RO(CH2)nNH-, R2N- 또는 RO- 이며, R은 C1-C4 알킬, m은 1 내지 3의 정수, n은 2 또는 3이다
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제5항에 있어서, 티타늄 금속 선구 물질이 테트라클로로티타늄(IV)인 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 금속 알콕사이드 화합물을 선구 물질로 사용하여 산화물 박막을 성장시키는 방법
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제7항에 있어서, 상기 산화물 박막은 금속 유기물 화학 증착 (MOCVD)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 산화물 박막이 티탄산바륨스트론튬 (BST) 박막 또는 티타늄 산화물 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 산화물 박막이 티탄산바륨스트론튬 (BST) 박막 또는 티타늄 산화물 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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