맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

산화알루미늄 박막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015138415
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화알루미늄 박막 제조 방법에 관한 것으로서, a) 알루미늄 원으로서 알킬산디알킬알루미늄을 증착 반응기에 공급하여 기질 상에 알루미늄 함유 화학종을 흡착시키는 단계; b) 미반응 알루미늄 원 및 반응 부산물을 반응기로부터 제거하는 제 1 정화 단계; c) 반응기에 산소 원을 공급하여 알루미늄 함유 화학종이 흡착된 기질 상에 산소 함유 화학종을 흡착시키는 단계; 및 d) 미반응 산소 원과 반응 부산물을 반응기로부터 제거하는 제 2 정화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 의하면 기존의 원자층 증착법에 비해 온화한 공정 조건에서 양호한 품질의 산화알루미늄 박막을 얻을 수 있다.
Int. CL C23C 16/40 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020045746 (2002.08.02)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0480756-0000 (2005.03.24)
공개번호/일자 10-2004-0012257 (2004.02.11) 문서열기
공고번호/일자 (20050406) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.08.02)
심사청구항수 10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시유성구
2 안기석 대한민국 대전광역시유성구
3 이선숙 대한민국 대전광역시중구
4 정택모 대한민국 대전광역시유성구
5 조원태 대한민국 부산광역시수영구
6 성기환 대한민국 인천광역시연수구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 위정호 대한민국 경기도 성남시 중원구 양현로 ***, ***호 (여수동, 시티오피스타워)(J특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2002-0250665-44
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.02.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0006043-87
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0285337-19
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0416243-19
6 의견서
Written Opinion		 2004.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2004-0416240-72
7 등록결정서
Decision to grant		 2004.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0545414-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 알루미늄 원으로서 알킬산디알킬알루미늄을 증착 반응기에 공급하여 기질 상에 알루미늄 함유 화학종을 흡착시키는 단계; b) 미반응 알루미늄 원 및 반응 부산물을 반응기로부터 제거하는 제 1 정화 단계; c) 반응기에 산소 원을 공급하여 알루미늄 함유 화학종이 흡착된 기질 상에 산소 함유 화학종을 흡착시키는 단계; 및 d) 미반응 산소 원과 반응 부산물을 반응기로부터 제거하는 제 2 정화 단계를 포함하는 산화알루미늄 박막 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 a) 내지 d) 단계를 1 주기로 하여 목표 두께의 산화알루미늄 막이 형성될 때까지 반복하는 것을 특징으로 하는 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 알루미늄 원이 하기 식으로 표현되는 알킬산디알킬알루미늄 화합물인 것을 특징으로 하는 방법: R1 2-Al-O-R2 상기 식 중, R1과 R2는 각각 C1-C4 알킬기임
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 알루미늄 원이 이소프로필산디메틸알루미늄, 이소프로필산디에틸알루미늄, 이차부틸산디메틸알루미늄, 삼차부틸산디메틸알루미늄 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 기질이 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 기질의 온도를 100 ℃ 내지 300 ℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 알루미늄 원으로 이소프로필산디메틸알루미늄을, 산소 원으로 물을 사용하는 것을 특징으로 하는 산화알루미늄 막을 형성하는 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 알루미늄 원으로 이차부틸산디메틸알루미늄을, 산소 원으로 물을 사용하는 것을 특징으로 하는 방법
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 a) 단계 또는 c) 단계가 1 주기당 0
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 단계 b) 또는 d)의 정화단계를 진공 또는 불활성 기체 도입에 의해 수행하는 것을 특징으로 하는 방법
11 10
제 1 항에 있어서, 상기 단계 b) 또는 d)의 정화단계를 진공 또는 불활성 기체 도입에 의해 수행하는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP01540033 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP17534809 JP 일본 FAMILY
3 TW236456 TW 대만 FAMILY
4 US20050271817 US 미국 FAMILY
5 WO2004013377 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AU2003247207 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
2 AU2003247207 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
3 CN1675404 CN 중국 DOCDBFAMILY
4 EP1540033 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 JP2005534809 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP2005534809 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP2005534809 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 TW200409732 TW 대만 DOCDBFAMILY
9 TW236456 TW 대만 DOCDBFAMILY
10 TWI236456 TW 대만 DOCDBFAMILY
11 US2005271817 US 미국 DOCDBFAMILY
12 WO2004013377 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.