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구리 아미노알콕사이드 화합물, 이의 합성 방법 및 이를이용한 구리 박막의 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015138454
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1과 화학식 2로 표시한 신규의 구리 아미노알콕사이드 화합물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 구리 선구 물질은 상온에서 고체 또는 액체 상태로 존재하며 증기압이 매우 높아 반도체 소자의 배선용 구리 도선의 화학 증착에 유용하게 사용할 수 있다. 상기 식에서, m은 1 내지 3의 정수이고, n은 2 내지 4의 정수이며, R 및 R'은 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 C1-4의 알킬기이다.
Int. CL C07F 1/08 (2006.01)
CPC C07F 1/08(2013.01) C07F 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020030012108 (2003.02.26)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0704464-0000 (2007.04.02)
공개번호/일자 10-2004-0076758 (2004.09.03) 문서열기
공고번호/일자 (20070410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.02.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시유성구
3 정택모 대한민국 대전광역시유성구
4 이선숙 대한민국 대전광역시중구
5 박정우 대한민국 서울특별시송파구
6 장홍석 대한민국 대전광역시대덕구
7 김민찬 대한민국 대구광역시달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 위정호 대한민국 경기도 성남시 중원구 양현로 ***, ***호 (여수동, 시티오피스타워)(J특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0067660-13
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0107894-10
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0075033-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0721526-16
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.02.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0098590-79
7 의견서
Written Opinion
2007.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2007-0098581-68
8 등록결정서
Decision to grant
2007.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0111349-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 구리 아미노알콕사이드 화합물:화학식 1 상기 식에서, m은 1 내지 3의 정수이고, R 및 R'은 C1-4의 알킬기이다
2 2
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3 3
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4 4
구리 알콕사이드 또는 구리 할로겐화물과 알칼리 금속의 아미노 알콕사이드 화합물 [MOCR'2(CH2)mNR2](여기서, R, R' 및 m은 제 1항에서 정의한 바와 같고, M은 Li 또는 Na 임)을 반응시키는 것을 포함하는, 제 1항에 따른 화학식 1의 구리 아미노 알콕사이드 화합물의 제조방법
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삭제
6 6
제1항의 구리 아미노알콕사이드 화합물을 선구 물질로 사용하여 구리 박막을 성장시키는 방법
7 6
제1항의 구리 아미노알콕사이드 화합물을 선구 물질로 사용하여 구리 박막을 성장시키는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.