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하기 화학식 1의 티타늄 질화물 선구 물질: 화학식 1 상기 식에서, 2개의 R은 서로 독립적으로 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이고, 4개의 R'은 각각 서로 독립적으로 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 알킬실릴기이다
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제1항에 있어서, R이 CH3, C2H5, CH(CH3)2 또는 C(CH3)3 이며, R'이 CH3, C2H5, CH(CH3)2, C(CH3)3 또는 Si(CH3)3 인 것을 특징으로 하는 티타늄 질화물 선구 물질
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제2항에 있어서, R이 CH(CH3)2 또는 C(CH3)3 이며, R'이 CH3, C2H5, CH(CH3)2 또는 Si(CH3)3 인 것을 특징으로 하는 티타늄 질화물 선구 물질
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유기 용매 중에서 하기 화학식 2의 할로겐화 티타늄과 하기 화학식 3의 화합물을 반응시켜 하기 화학식 4의 화합물을 얻은 후, 이를 하기 화학식 5의 디알킬아미드의 알칼리 금속염을 반응시키는 것을 포함하는, 제1항에 따른 티타늄 질화물 선구 물질의 제조 방법: 화학식 2 TiX4 화학식 3 M2[RN=CHCH=NR] 화학식 4 Ti[RNCH=CHNR]X2 화학식 5 MNR'2 상기 식에서, R 및 R'은 제1항에서 정의한 바와 같고, X는 F, Cl, Br 또는 I 이며, M은 Li, Na 또는 K 이다
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