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란탄계 산화물 선구물질 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015138598
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 란탄계 산화물 선구물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 란탄계 산화물 선구물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 란탄계 산화물 박막 제조에 유리하게 사용될 수 있다. 상기 식에서, M은 란탄(La), 에르븀(Er), 프라세오디뮴(Pr) 또는 세륨(Ce)이고, R 및 R'은 각각 독립적으로 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬이며, Y는 -OR" 또는 -NR"2(여기서, R"는 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬임)이다.
Int. CL C07F 5/00 (2006.01)
CPC C07F 5/00(2013.01) C07F 5/00(2013.01)
출원번호/일자 1020040116259 (2004.12.30)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0590051-0000 (2006.06.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20060619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
2 김윤수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
4 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
5 김인정 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 이현실 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0626873-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2006-0011365-60
4 등록결정서
Decision to grant
2006.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0232586-19
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1의 란탄계 산화물 선구물질: 화학식 1 상기 식에서, M은 란탄(La), 에르븀(Er), 프라세오디뮴(Pr) 또는 세륨(Ce)이고, R 및 R'은 각각 독립적으로 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬이며, Y는 -OR" 또는 -NR"2(여기서, R"는 C1-C4 선형 또는 분지형 알킬임)이다
2 2
제 1 항에 있어서, R 및 R'가 각각 독립적으로 CH3, C2H5, CH(CH3)2 또는 C(CH3)3인 것을 특징으로 하는 란탄계 산화물 선구물질
3 3
유기용매 중에서 하기 화학식 2의 β-디케토네이트 함유 란탄계 화합물과 하기 화학식 3의 화합물을 반응시키는 것을 포함하는, 제 1 항에 따른 란탄계 산화물 선구물질의 제조방법: 화학식 2 화학식 3 상기 식에서, M, R, R' 및 Y는 제 1 항에서 정의한 바와 같다
4 4
유기용매 중에서 화학식 4의 할로겐화 란탄계 화합물, 하기 화학식 5의 케톤 화합물 및 화학식 6의 암모니아수를 반응시켜 화학식 7의 화합물을 얻고, 이를 화학식 3의 화합물 및 화학식 6의 암모니아수와 반응시키는 것을 포함하는, 제 1 항에 따른 란탄계 산화물 선구물질의 제조방법: 화학식 3 화학식 4 MCl3 화학식 5 화학식 6 NH4OH 화학식 7 상기 식에서, M, R, R' 및 Y는 제 1 항에서 정의한 바와 같다
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 따른 란탄계 산화물 선구물질을 사용하여 란탄계 산화물 함유 박막을 성장시키는 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 박막 성장 공정이 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD)에 의해 수행됨을 특징으로 하는 방법
7 6
제 5 항에 있어서, 박막 성장 공정이 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD)에 의해 수행됨을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.