요약 | 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 삼차 아민을 포함하는 디올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 삼차 아민을 포함하는 디올 화합물은 금속과 결합되어 안정하고 휘발성이 향상된 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있다.[화학식 1]상기 식에서, R1은 선형 또는 분지형 C1-C4 알킬기, 또는 이며; R2는 서로 동일하거나 상이하며 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또는 분지형 C1-C4 알킬기 또는 알킬실릴기이고; R3는 각각 동일하거나 상이하며 선형 또는 분지형 C1-C4 알킬기이고 n은 0 내지 5이다.삼차 아민, 디올 화합물 |
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Int. CL | C07C 215/12 (2006.01) C07C 215/10 (2006.01) |
CPC | C07C 215/10(2013.01) C07C 215/10(2013.01) C07C 215/10(2013.01) C07C 215/10(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020050011920 (2005.02.14) |
출원인 | 한국화학연구원 |
등록번호/일자 | 10-0627625-0000 (2006.09.18) |
공개번호/일자 | 10-2006-0091392 (2006.08.21) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20060925) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2005.02.14) |
심사청구항수 | 6 |